川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司吉田雅也获国家专利权
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龙图腾网获悉川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司申请的专利基板吸引保持构造以及基板搬运机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114600230B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080075735.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板吸引保持构造以及基板搬运机器人是由吉田雅也;中原一设计研发完成，并于2020-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板吸引保持构造以及基板搬运机器人在说明书摘要公布了：基板吸引保持构造100具备：衬垫主体40，具有环状的接触部41、和将由接触部包围的第一真空室42的底面65封闭的底壁部43，并且该衬垫主体40具有导电性；托板主体3，具有上表面、和使该上表面凹陷而形成的第二真空室30，具有导电性；支柱44，设置于第二真空室或衬垫主体中的任一个，使衬垫主体的接触部在第二真空室之上位于比托板主体的上表面靠上方处，将衬垫主体支承为能够相对于第二真空室摆动，具有导电性；覆盖体7，固定于托板主体，覆盖第二真空室；以及吸引通路10，从第一真空室延伸，依次通过衬垫主体的底壁部、第二真空室以及托板主体，与真空源8连接。
本发明授权基板吸引保持构造以及基板搬运机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板吸引保持构造，其特征在于，具备： 衬垫主体，其具有环状的接触部、和将由所述接触部包围的第一真空室的底面封闭的底壁部，并且具有导电性； 托板主体，其具有上表面、和使该上表面凹陷而形成的第二真空室，并且具有导电性； 支柱，其设置于所述第二真空室或所述衬垫主体的任一个，使所述衬垫主体的所述接触部在所述第二真空室之上位于比所述托板主体的所述上表面靠上方的位置，将所述衬垫主体支承为能够相对于所述第二真空室摆动，并且该支柱具有导电性； 覆盖体，其固定于所述托板主体，覆盖所述第二真空室；以及 吸引通路，其从所述第一真空室延伸，依次通过所述衬垫主体的所述底壁部、所述第二真空室以及所述托板主体，与真空源连接， 所述覆盖体具有导电性，与所述支柱或所述衬垫主体接触， 所述衬垫主体和所述托板主体能够经由所述支柱电连接，所述衬垫主体和所述托板主体能够经由所述覆盖体电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司，其通讯地址为：日本兵库县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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