中国科学院微电子研究所谢婉露获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种归一化能量测试装置及光学测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115200836B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210552293.9，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权一种归一化能量测试装置及光学测量系统是由谢婉露;吴晓斌;沙鹏飞;王魁波;韩晓泉;李慧;罗艳;马赫;谭芳蕊设计研发完成，并于2022-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种归一化能量测试装置及光学测量系统在说明书摘要公布了：本公开涉及一种归一化能量测试装置及光学测量系统，所述装置包括：可调节光阑，用于调节光源传播光束的尺寸；两块反射镜，用于将被截止传输的部分光束以相同的入射角反射到能量探测器上；所述两块反射镜沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置于所述可调节光阑开口的边沿；两个第一能量探测器，用于探测所述两块反射镜的反射光。所述系统搭载了所述归一化能量测试装置，还包括：光源腔室，用于产生辐射光源；光束处理腔室，用于将辐射光源产生的光束处理成测试所需的光束；第一插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光束处理腔室；光学测量腔室，用于测量待测光学元件的性能参数；第二插板阀，用于分隔所述光束处理腔室和所述光学测量腔室。
本发明授权一种归一化能量测试装置及光学测量系统在权利要求书中公布了：1.一种归一化能量测试装置，其特征在于，包括： 可调节光阑，用于调节光源传播光束的尺寸； 两块反射镜，用于将被截止传输的部分光束以相同的入射角反射到能量探测器上； 所述两块反射镜沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置于所述可调节光阑开口的边沿； 两个第一能量探测器，用于探测所述两块反射镜的反射光；所述两个第一能量探测器沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置，分别接受所述两块反射镜反射的光源光束。
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