株式会社巴川制纸所山崎允义获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社巴川制纸所申请的专利静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244678B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019517.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒是由山崎允义设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒在说明书摘要公布了：一种静电吸盘装置1，具备：基板10；层叠体2，层叠在基板10的厚度方向上的上表面；以及陶瓷层50，层叠在层叠体2的厚度方向上的上表面，其中，由绝缘性材料构成的套筒70插入至沿厚度方向贯通基板10和层叠体2的贯通孔60，套筒70的厚度方向上的上表面71呈两级结构，由与基板10的厚度方向上的上表面10a位于同一面上的第一上表面72和与其相比位于套筒70的厚度方向上的上方并接近陶瓷层50的第二上表面73构成，在俯视观察时，层叠体2的边缘部2A配置在第一上表面72上。
本发明授权静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘装置，其特征在于， 所述静电吸盘装置具备：基板；层叠体，层叠在该基板上，至少包括内部电极；以及陶瓷层，层叠在该层叠体的厚度方向上的上表面， 所述静电吸盘装置设置有：贯通孔，在厚度方向上贯通所述基板和所述层叠体， 由绝缘性材料构成的套筒插入至所述贯通孔， 所述套筒的厚度方向上的上表面呈由第一上表面和第二上表面构成的两级结构，所述第一上表面与所述基板的厚度方向上的上表面位于同一面上，所述第二上表面与该第一上表面相比位于所述套筒的厚度方向上的上方，并接近所述陶瓷层的第二上表面， 在俯视观察时，所述层叠体的边缘部配置在所述第一上表面上， 在所述层叠体的边缘部的外侧面与所述第一上表面和所述第二上表面之间的外侧面之间填充有填充剂或者是空隙。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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