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华中科技大学唐江获国家专利权

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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于CMOS工艺的红外探测芯片及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115332386B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210852885.2,技术领域涉及:H10F30/222;该发明授权一种基于CMOS工艺的红外探测芯片及其制备方法和应用是由唐江;贺禹铭;付刘冲;郑佳佳;陈超;李康华设计研发完成,并于2022-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于CMOS工艺的红外探测芯片及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本申请公开了一种基于CMOS工艺的红外探测芯片及其制备方法和应用,所述红外探测芯片包括:硅基底,包括CMOS读出电路,所述CMOS读出电路包括引出电极;电子传输层,所述电子传出层设置在所述引出电极上;SexTe1‑x薄膜层,所述SexTe1‑x薄膜层设置在所述电子传输层上,其中,所述x的范围为0≤x≤1;和第二电极层,所述第二电极层设置在所述SexTe1‑x薄膜层上。与现有技术相比,实现低成本、工艺简单的CMOS一体化红外探测芯片的制备。

本发明授权一种基于CMOS工艺的红外探测芯片及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种基于CMOS工艺的红外探测芯片的制备方法,其特征在于, 1在硅基底的引出电极上制备电子传输层; 2采用热蒸发法在所述电子传输层上获得SexTe1-x薄膜层; 3采用磁控溅射工艺,在所述SexTe1-x薄膜层上获得第二电极层; 所述热蒸发法选自单源热蒸发法、双源热蒸发法中的至少一种; 步骤2中热蒸发后还包括退火,所述退火的温度为180~300℃;退火的时间为5~30mins; 所述步骤3具体包括以下步骤: 在所述SexTe1-x薄膜层上制备空穴传输层;采用磁控溅射工艺,在所述空穴传输层上获得所述第二电极层; 所述基于CMOS工艺的红外探测芯片包括: 硅基底,包括CMOS读出电路,所述CMOS读出电路包括引出电极; 电子传输层,所述电子传输层设置在所述引出电极上; SexTe1-x薄膜层,所述SexTe1-x薄膜层设置在所述电子传输层上,其中,所述x的范围为0<x<1; 和第二电极层,所述第二电极层设置在所述SexTe1-x薄膜层上; 所述基于CMOS工艺的红外探测芯片还包括空穴传输层,所述空穴传输层位于所述SexTe1-x薄膜层与所述第二电极层之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学,其通讯地址为:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号华中科技大学;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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