买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州子山半导体科技有限公司申请的专利一种干法蚀刻机终点侦测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115424914B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211059958.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种干法蚀刻机终点侦测系统是由周玉龙设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干法蚀刻机终点侦测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种干法蚀刻机终点侦测系统，包括侦测器，所述侦测器的上端位置定位安装有顶壳，所述侦测器与顶壳之间密封定位有密封座，所述侦测器的前端一侧位置开设有光纤通光孔，且侦测器前端位于光纤通光孔的位置活动设置有转盘，所述转盘上设置有滤光片，所述侦测器的内侧开设有盒体，且盒体的内侧定位有系统电路板与电机，所述系统电路板与侦测器之间密封定位有密封安装座。本发明所述的一种干法蚀刻机终点侦测系统，基于等离子发光光谱的原理，配合硬件检测和控制系统，实时检测反应物浓度，从而获得蚀刻反应终点，通过使用低成本的电路方案，可以经济便捷的在干法蚀刻设备上批量安装此系统，实现终点侦测的目的。

本发明授权一种干法蚀刻机终点侦测系统在权利要求书中公布了：1.一种干法蚀刻机终点侦测系统，包括侦测器1，其特征在于：所述侦测器1的上端位置定位安装有顶壳2，所述侦测器1与顶壳2之间密封定位有密封座6，所述侦测器1的前端一侧位置开设有光纤通光孔7，且侦测器1前端位于光纤通光孔7的位置活动设置有转盘8，所述转盘8上设置有滤光片9，所述侦测器1的内侧开设有盒体15，且盒体15的内侧定位有系统电路板11与电机12，所述系统电路板11与侦测器1之间密封定位有密封安装座10； 所述顶壳2上定位有显示面板5，所述显示面板5上设置有显示器4与控制按钮3，所述侦测器1的两端开设有定位槽13，所述定位槽13的内侧定位有密封树脂14，所述顶壳2的两端定位安装有定位插板16，所述定位插板16上定位有防滑垫17； 所述系统电路板11上电器安装有转轴检测模块18、通讯模块19、系统控制模块20、信号接收模块21、光电转换模块22与数模转换模块23，所述转轴检测模块18连接电机12的位置，所述信号接收模块21连接转盘8的位置，所述光电转换模块22连接信号接收模块21，所述数模转换模块23连接光电转换模块22，所述系统控制模块20连接电机12、转轴检测模块18、数模转换模块23与通讯模块19； 所述系统控制模块20预先存储各个常见反应生成物的发光波长频谱，根据菜单确定最终需要测定的反应生成物及其发光波长，调选合适的滤光波长的滤光片9并驱动电机12使被挑选的滤光片9转动到光纤通光孔7上，使系统控制模块20只能接受到反应生成物发出的光； 所述系统控制模块20发出信号触发RF电源开启，等离子体生成蚀刻开始，反应生成物生成并且其发出的光通过光纤通光孔7进入检测系统，所述光电转换模块22会将光信号转换为电压信号，所述系统控制模块20实时测量电压信号，当到达反应终点时，所述系统控制模块20会发出信号触发RF电源关闭，蚀刻反应终止。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州子山半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区方泾路10号裕大盛博科技园1号楼301室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。