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南昌大学共青城光氢储技术研究院兰宇获国家专利权

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龙图腾网获悉南昌大学共青城光氢储技术研究院申请的专利一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115569610B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211186424.2,技术领域涉及:B01J3/04;该发明授权一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法是由兰宇;尹传强;李晓敏;周浪设计研发完成,并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法,装置包括反应匣钵和高温合成炉;所述反应匣钵由氮化硅基板、陶瓷挡板和陶瓷盖板组成;所述高温合成炉为真空高温炉,其腔室排布有抽真空口、进气口、出气口、紧急泄压口以及真空压力表。利用这种装置,在没有任何金属或金属催化盐的条件下,以氨气和四卤化硅为源气体,在高温下进行反应,制备超长定向α相氮化硅纤维阵列。本发明制备装置简单,由氮化硅基板、陶瓷挡板和中心带圆孔的陶瓷盖板组成的匣钵为氮化硅纤维提供了生长衬底,通过堆叠匣钵,可以实现氮化硅纤维阵列的规模化制备。本发明无需任何金属及金属盐催化剂即可制备超长α相氮化硅纤维阵列,无金属杂质存在。

本发明授权一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的制备方法,其特征在于,所述制备方法利用的生产装置包括反应匣钵和高温合成炉;所述反应匣钵由氮化硅基板、陶瓷挡板和陶瓷盖板组成;所述高温合成炉为真空高温炉,其腔室排布有抽真空口、进气口、出气口、紧急泄压口以及真空压力表;所述制备方法包括如下步骤: 步骤1,将反应匣钵放置于高温合成炉均温区; 步骤2,将高温合成炉抽真空至炉内气压小于50pa;随后以5~10℃min的升温速率升至900~1000℃,保温0.5~2h,使反应匣钵各处达到均温状态; 步骤3,将氩气和四卤化硅混合气以1~30Lmin的流量通过反应匣钵的陶瓷盖板中心孔对应的进气口充气至-80~-60Kpa;随后关闭氩气和四卤化硅气阀,停止充气;然后以0.1~2℃min升温速率升温至1250~1350℃,保温0.5~2h,使反应匣钵各处达到均温状态; 步骤4,开启与高温合成炉侧壁进气口相连接的氨气阀,开启与反应匣钵陶瓷盖板中心孔对应的进气口相连接的氩气阀和四卤化硅气阀;调节气体流量至1~50Lmin,并充气至炉压50Kpa;随后关闭氨气、氩气和四卤化硅气阀,停止充气;待炉内压力膨胀至80Kpa时,打开出气阀,放气至20Kpa;在此过程中保持炉腔温度1250~1350℃不变; 步骤5,保持炉腔温度1250~1350℃不变,保温1~5h;气压调节按步骤4循环进行2~5次,直至反应结束; 步骤6,反应结束之后随炉冷却至室温,从氮化硅基板上得到大量超长定向α相氮化硅纤维阵列。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南昌大学共青城光氢储技术研究院,其通讯地址为:332020 江西省九江市共青城市高新区科技一大道66号科创园2号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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