上海微电子装备(集团)股份有限公司杨珂获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利波像差测量装置及波像差测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115685688B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110874663.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权波像差测量装置及波像差测量方法是由杨珂;马明英设计研发完成，并于2021-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本波像差测量装置及波像差测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种波像差测量装置及波像差测量方法，包括沿光路方向依次设置的光源、第一基板、投影物镜、第二基板及图像探测单元，所述光源用于发出照明光束；所述第一基板上设有沿X向延伸的第一光栅和沿Y向延伸的第二光栅，所述第一光栅沿Y向的宽度大于所述照明光束的视场沿Y向的宽度，所述第二光栅沿Y向的宽度大于所述照明光束的视场沿Y向的宽度；所述第二基板上设有沿X向延伸的第三光栅和沿Y向延伸的第四光栅；所述投影物镜将透过所述第一基板的照明光束投影至所述第二基板上，沿Y向移动所述第二基板，所述图像探测单元获取动态波像差图像。本发明提高了动态波像差的测量精度及测量效率。
本发明授权波像差测量装置及波像差测量方法在权利要求书中公布了：1.一种波像差测量装置，其特征在于，包括沿光路方向依次设置的光源、第一基板、投影物镜、第二基板及图像探测单元，其中，所述光源用于发出照明光束；所述第一基板上设有沿X向延伸的第一光栅和沿Y向延伸的第二光栅，所述第一光栅沿Y向的宽度大于所述照明光束的视场沿Y向的宽度，所述第二光栅沿Y向的宽度大于所述照明光束的视场沿Y向的宽度；所述第二基板上设有沿X向延伸的第三光栅和沿Y向延伸的第四光栅；所述投影物镜将透过所述第一基板的照明光束投影至所述第二基板上，沿Y向移动所述第二基板，以使所述图像探测单元获取透过所述第二基板的照明光束的动态波像差图像。
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