安徽奥飞声学科技有限公司李冠华获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽奥飞声学科技有限公司申请的专利一种压电MEMS扬声器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115706906B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110895059.1,技术领域涉及:H04R19/02;该发明授权一种压电MEMS扬声器是由李冠华;刘端设计研发完成,并于2021-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电MEMS扬声器在说明书摘要公布了:一种压电MEMS扬声器。本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,包括经连杆连接的内环体和外环体,所述内环体和所述外环体之间具有第一空腔,所述内环体内具有第二空腔;压电复合振动层,形成在所述衬底上方,包括形成在所述外环体上方的边缘部分和形成在所述内环体上方的中心部分,所述边缘部分和所述中心部分之间具有分割间隙。综上,本申请所提供的压电MEMS扬声器的压电复合振动层包括边缘部分和中心部分,其中,边缘部分用于产生高频声压级,中心部分用于产生低频声压级。边缘部分和中心部分的结合使得压电MEMS扬声器具有范围更宽的较为平坦的声压级频响曲线,提高了整个频率段的听觉效果。
本发明授权一种压电MEMS扬声器在权利要求书中公布了:1.一种压电MEMS扬声器,其特征在于,包括: 衬底,包括经连杆连接的内环体和外环体,所述内环体和所述外环体之间具有第一空腔,所述内环体内具有第二空腔; 压电复合振动层,形成在所述衬底上方,包括形成在所述外环体上方的边缘部分和形成在所述内环体上方的中心部分,所述边缘部分和所述中心部分之间具有分割间隙; 其中,所述边缘部分的固定端连接在所述外环体上方,所述边缘部分的自由端悬置在所述第一空腔上方;所述中心部分的外边缘连接固定于所述内环体上方; 所述压电复合振动层包括:振动支撑层,形成在所述衬底上方;第一电极层,形成在所述振动支撑层上方;第一压电层,形成在所述第一电极层上方;第二电极层,形成在所述第一压电层上方;其中,所述中心部分的振动支撑层的区域面积大于所述第一电极层的区域面积,并且所述第一电极层、所述第一压电层和所述第二电极层的区域面积相等。
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