买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉清华大学申请的专利一种干涉仪测量系统及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115808119B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211461325.0，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权一种干涉仪测量系统及测量方法是由张鸣;朱煜;张恩鸣;王磊杰;叶伟楠;黄河;刘相波;成荣设计研发完成，并于2022-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种干涉仪测量系统及测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种干涉仪测量系统及测量方法，通过设置折光组件和回射组件实现二次衍射，还利用回射组件平行出光的效应，消除因待测目标转动导致的夹角干涉。利用回射组件，不仅可以消除夹角干涉，还能使干涉仪整体更为集成、紧凑，从而在测量中可以更好的控制干涉仪在测量环境中温度梯度，以降低环境因素对干涉仪精度的影响。

本发明授权一种干涉仪测量系统及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种干涉仪测量系统，其特征在于，包括： 激光发射部件，其用于产生至少两束相互平行的入射激光束； 偏振分光棱镜，其设置为与所述激光发射部件的发射端对应，所述偏振分光棱镜用于将所述入射激光束分为传播方向不同的测量激光束； 折光部件，其设置于所述偏振分光棱镜的出射方向上，用于将所述测量激光束依次折向反射光栅，以使所述测量激光束依次在所述反射光栅上进行至少两次衍射； 干涉部件，其用于接收经所述折光部件射出的衍射后的所述测量激光束，以使多束所述测量激光束两两进行干涉；以及 光电探测部件，其用于接收经所述干涉部件射出的干涉后的所述测量激光束并将其转换为电信号，根据所述电信号以对运动目标的位移进行测量； 每束所述入射激光束在所述偏振分光棱镜处形成分别沿第一方向与第二方向传播的两束所述测量激光束，所述折光部件包括回射组件、第一折光组件与第二折光组件，所述第一折光组件与所述第二折光组件分别对应沿所述第一方向与所述第二方向传播的所述测量激光束； 其中，所述测量激光束经所述折光组件后折向所述反射光栅并在所述反射光栅上衍射后原路返回，原路返回至所述折光组件的所述测量激光束折向所述回射组件，经所述回射组件的所述测量激光束再次折向所述折光组件并被再次折向所述反射光栅，在所述反射光栅上再次衍射后的所述测量激光束再次原路返回至所述折光组件并被所述折光组件出射至所述干涉部件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人清华大学，其通讯地址为：100084 北京市海淀区清华大学；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。