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龙图腾网获悉北京空间机电研究所申请的专利一种大口径无孔光学元件的镀膜装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115852324B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211338463.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种大口径无孔光学元件的镀膜装置及方法是由王刚;白云立;刘智勇;张梦雨;王利;郭文;梁云红;孟维维;赵静;郝言慧;周于鸣;李春林设计研发完成，并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大口径无孔光学元件的镀膜装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大口径无孔光学元件的镀膜装置，包括主动轴、从动轴、齿轮组、磁控溅射源和修正板；主动轴的自转带动从动轴的自转及绕主动轴轴线的公转；光学元件固定安装于第二齿轮上方，光学元件与从动轴同步运动；磁控溅射源设于光学元件上方且位置固定，修正板上设有开口，磁控溅射源通过修正板对光学元件上表面进行镀膜。本发明还公开了一种大口径无孔光学元件的镀膜方法，通过设置修正系数向量确定修正板中各区域中开口的尺寸，再根据镀膜面上膜层各点的厚度值绘制膜厚分布曲线，根据膜厚分布曲线不断调整修正系数向量后，利用修正板对光学元件进行镀膜。本发明实现了对中心无孔光学元件的镀膜及膜厚均匀性的调整。

本发明授权一种大口径无孔光学元件的镀膜装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种大口径无孔光学元件的镀膜装置，其特征在于，包括主动轴1、从动轴2、齿轮组3、磁控溅射源7和修正板； 齿轮组3包括第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮设于主动轴1上端，第二齿轮设于从动轴2上端，第一齿轮和第二齿轮相互啮合；主动轴1的自转带动从动轴2的自转及绕主动轴1轴线的公转； 光学元件5固定安装于第二齿轮上方，光学元件的几何中心位于从动轴2的轴线上，光学元件与从动轴2同步运动； 磁控溅射源7设于光学元件5上方且位置固定，修正板安装于磁控溅射源7与光学元件5之间；修正板上设有开口，磁控溅射源7通过修正板对光学元件5上表面进行镀膜； 通过调整修正板上所设开口对镀膜膜厚的均匀性进行修正，具体方法包括： S1计算无修正板时镀膜面上膜层的厚度分布矩阵T； S2设置修正系数向量C； S3将无修正板时镀膜面上膜层的厚度分布矩阵T与修正系数向量C相乘，得到修正值TC； S4将修正板均分为m个区域，并根据修正值TC确定各区域中开口的坐标；m＞1； S5计算在步骤S4的修正板开口坐标下，镀膜面上膜层各点的厚度值； S6根据镀膜面上膜层各点的厚度值绘制膜厚分布曲线； S7当膜厚分布曲线的最大值与最小值之差＞△T，返回步骤S2；当膜厚分布曲线的最大值与最小值之差≤△T，使磁控溅射源7通过设有步骤S4所得开口尺寸的修正板对光学元件5上表面进行镀膜；△T为根据镀膜膜厚的均匀性要求设置的阈值； 所述修正板为一种大口径无孔光学元件的镀膜装置中的修正板，镀膜面为光学元件5上表面； 步骤S1中，计算无修正板时镀膜面上膜层的厚度分布矩阵T的方法包括： S1.1建立坐标系OXYZ；所述坐标系OXYZ的原点为磁控溅射源7的溅射面所在平面与主动轴1轴线的交点，X轴由原点指向溅射面的中心，Z轴由原点沿主动轴1轴线的向上，Y轴符合右手定则； S1.2基于坐标系OXYZ，计算磁控溅射源7溅射面面积元dσ对镀膜面任一点的面积元ds溅射产生的膜层厚度tds； S1.3建立dσ与ds连线长度r，以及ds的坐标关于溅射时间t的表达式； S1.4根据tds，dσ与ds连线长度r关于溅射时间t的表达式以及ds的坐标关于溅射时间t的表达式，确定整个溅射面在溅射时间t内对ds溅射的膜层厚度Tds； S1.5将镀膜面从中心点到边缘平均分为m个不同半径的环带，并假设相同半径处的镀膜面具有相同的厚度，将Tds转换为包含m个不同的元素的列矩阵； S1.6对所述列矩阵中的各元素进行归一化处理，得到无修正板时镀膜面上膜层的厚度分布矩阵T； 记第p次执行步骤S2所设置的修正系数向量C为Cp，p＝1，2，3，…， Cp＝[Cp,1；Cp,2；Cp,3；…Cp,m-1；Cp,m]； 步骤S3中，第p次执行步骤S3所得修正值 TCp＝[TCp,1；TCp,2；TCp,3；…TCp,m-1；TCp,m]； 步骤S4中，设修正板为矩形，修正板的修正范围坐标为xt-max-xt-min×yt-max-yt-min，将修正板沿X轴方向均分为m个区域，第i个区域的沿X轴方向两端的坐标分别为：xt-min+[xt-max-xt-min×i-1]m-1和xt-min+[xt-max-xt-min×im-1； 将第i个区域开口,开口的四个顶点坐标分别为：x,y，x,y，x,y，x,y： 其中，TCpmin是修正值TCp向量中的非零最小值； 大口径无孔光学元件的直径为2～4m； 步骤S1.6中，得到无修正板时镀膜面上膜层的厚度分布矩阵T为：

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