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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利一种定量调控多相氧化钒的方法及多相氧化钒的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115896698B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211425421.X，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种定量调控多相氧化钒的方法及多相氧化钒的应用是由黄骥;王坤;张健;齐雅平设计研发完成，并于2022-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种定量调控多相氧化钒的方法及多相氧化钒的应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种定量调控多相氧化钒的方法及多相氧化钒的应用，属于激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决现有温测器件热敏性能低、小型化难、应用局限大等问题，提供一种定量调控多相氧化钒的方法及多相氧化钒的应用；该温测器件基于飞秒激光直写技术加工，无需掩膜，可灵活实现热敏材料特性调控、高精度微结构化制备等。同时，该温测器件具备高性能高TCR、低噪声与高响应速度，具有微尺度薄膜设计可极大化器件的比表面积，可应用于量热法电离辐射剂量学、微测辐射热计等技术领域。

本发明授权一种定量调控多相氧化钒的方法及多相氧化钒的应用在权利要求书中公布了：1.一种定量调控多相氧化钒的方法，其特征在于：包括步骤如下： 步骤1：在硅晶片上沉积氮化硅，用作薄膜材料沉积的衬底，随后在氮化硅衬底上沉积氧化钒材料并作退火处理制得VO2薄膜； 步骤2：在准真空环境充O2条件下，使用聚焦飞秒激光光束辐照VO2薄膜材料表面，诱导局部激发大量自由电子引起晶格的不稳定，从而导致氧化钒局部快速融化及键断裂，并在飞秒脉冲激发下与氧分子作用重新成键，调控形成V2O5；充入惰性气体；在准真空环境充惰性气体条件下，通过飞秒激光直写辐照，控制激光与材料的相互作用过程，诱导材料V-O键断裂及氧去除，局部相变形成V2O3；通过设计激光作用参量，可控调节V2O3形成比例；利用X射线光电子能谱分析XPS对加工区域进行表征，通过XPS峰拟合及每个峰的面积比例计算分析样品中VO2,V2O3,V2O5相的相对浓度，进一步指导优化上述参数，加工形成由特定比例的VO2,V2O3,V2O5构成的多相氧化钒VOx，实现氧化钒薄膜的定量相变调控； 所述定量相变调控如下： ①上述飞秒激光调控过程中，准真空环境充O2条件下，控制激光通量F=20.3mJcm2、有效脉冲数N=30、重复频率f=1000Hz、气压强度P=0.2Torr；随后，准真空环境充惰性气体条件下，控制激光通量F=25.6mJcm2、有效脉冲数N=30、重复频率f=1000Hz、气压强度P=0.5Torr，实现了定量调控VO2薄膜材料形成钒氧化物VO2,V2O3,V2O5的比例为6:1:1的多相氧化钒VOx； ②上述飞秒激光调控过程中，准真空环境充O2条件下，控制F=33.7mJcm2,N=61,=1000Hz,=0.6Torr；随后，准真空环境充惰性气体条件下，控制=25.6mJcm,N=30,=1000Hz,=0.5Torr，实现了定量调控VO薄膜材料形成钒氧化物VO,V,V的比例为5:1:4的多相氧化钒VO ③上述飞秒激光调控过程中，准真空环境充O条件下，控制=20.3mJcm,N=30,=1000Hz,=0.2Torr；随后，准真空环境充惰性气体条件下，控制=38.3mJcm,N=58,=1000Hz,=0.5Torr，实现了定量调控VO薄膜材料形成钒氧化物VO,V,V的比例为5:4:1的多相氧化钒VO ④上述飞秒激光调控过程中，准真空环境充O条件下，控制=46.6mJcm,N=100,=1000Hz,=0.8Torr；随后，准真空环境充惰性气体条件下，控制=51.2mJcm,N=100,=1000Hz,=0.5Torr，实现了定量调控VO薄膜材料形成钒氧化物VO,V,V的比例为1:5:6的多相氧化钒VO

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