合肥领航微系统集成有限公司慈伟杰获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115962710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211547543.6，技术领域涉及：G01B7/30；该发明授权振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺是由慈伟杰;储清清设计研发完成，并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺在说明书摘要公布了：本发明提供微镜，包括基板，微镜与基板键合固定；电容检测机构，所述电容检测机构包括：检测电极，所述检测电极位于基板上；屏蔽电极，所述屏蔽电极位于基板上，且所述屏蔽电极套设于所述检测电极外部；其中，检测电极与屏蔽电极均与基板电性连接。一种封装工艺，包括从晶圆上切割取下微镜；设置与所述微镜的背面通过键合金属层键合固定的基板；在所述基板上，且位于所述微镜的背腔中形成检测电极；在所述基板上，且位于所述微镜的背腔中形成屏蔽电极。本发明通过检测振膜与检测电极之间的电容，可推定出振膜与检测电极的间距，从而反馈振膜的偏转状态，同时可屏蔽电容检测过程中产生的杂散信号，提高了检测的精度。
本发明授权振膜偏转角度反馈装置、具有其的微镜及封装工艺在权利要求书中公布了：1.一种基于电容检测的振膜偏转角度反馈装置，其特征在于，包括： 基板5； 电容检测机构4，所述电容检测机构4包括： 检测电极41，所述检测电极41位于基板5上； 屏蔽电极42，所述屏蔽电极42位于基板5上，且所述屏蔽电极42套设于所述检测电极41外部； 其中，检测电极41与屏蔽电极42均与基板5电性连接； 所述电容检测机构4还包括： 第一支撑件43和第二支撑件44，所述第一支撑件43与所述第二支撑件44均设置在基板5上，所述检测电极41设置在第二支撑件44远离所述基板5的一端，所述屏蔽电极42设置在第一支撑件43远离所述基板5的一端。
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