买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116018214B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180052120.4，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由山口隆大设计研发完成，并于2021-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：构成一种基板处理装置，具备：处理液供给喷嘴，其至少向基板的表面的周缘部供给处理液来进行处理；载置台，其载置被供给所述处理液的所述基板；移动体，其包括用于检测与载置于所述载置台的所述基板之间的距离的第一距离传感器；移动机构，其使所述移动体在所述基板的周缘部上横向地移动，以获取所述基板的周缘部处的靠该基板的中心的位置即第一位置与比该第一位置靠所述基板的周端侧的位置即第二位置之间的高度分布；以及旋转机构，其使所述载置台相对于所述移动体旋转，以分别获取在所述基板的周向上彼此分离的多个位置处的所述高度分布。

本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具备： 处理液供给喷嘴，其至少向基板的表面的周缘部供给处理液来进行处理； 载置台，其载置被供给所述处理液的所述基板； 移动体，其包括用于检测与载置于所述载置台的所述基板之间的距离的第一距离传感器； 控制部，其输出控制信号； 移动机构，其接收所述控制信号，使所述移动体在所述基板的周缘部上横向地移动，以获取所述基板的周缘部处的靠该基板的中心的位置即第一位置与比该第一位置靠所述基板的周端侧的位置即第二位置之间的高度分布；以及 旋转机构，其接收所述控制信号，使所述载置台相对于所述移动体旋转，以分别获取在所述基板的周向上彼此分离的多个位置处的所述高度分布， 所述移动机构使所述移动体相对于所述载置台升降，并且输出升降量的信息， 所述基板处理装置设置有运算部，所述运算部基于根据所述升降量的信息计算出的所述移动体横向地移动时的基准高度与所述第一距离传感器之间的第一距离、以及由所述第一距离传感器检测出的检测值，来获取所述高度分布， 设置有基准高度设定部，所述基准高度设定部用于设定所述基准高度， 所述基准高度设定部包括： 所述运算部；以及 第二距离传感器，其设置于所述移动体的移动路的下方，用于检测到该移动体的第二距离， 其中，所述运算部基于该第二距离来设定所述基准高度， 所述处理液供给喷嘴包括于所述移动体，所述第二距离是该处理液供给喷嘴与所述第二距离传感器之间的距离， 所述运算部基于该第二距离、由所述第一距离传感器或所述第二距离传感器获取到的该第一距离传感器与该第二距离传感器之间的第三距离、以及分别获取所述第二距离、所述第三距离时的所述升降量的信息，来决定向所述基板供给所述处理液时的所述处理液供给喷嘴的高度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。