上海微电子装备(集团)股份有限公司赵文龙获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利物镜光阑的旋转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116047865B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111261147.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权物镜光阑的旋转装置是由赵文龙;郁健设计研发完成，并于2021-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本物镜光阑的旋转装置在说明书摘要公布了：本发明属于光刻机技术领域，公开了一种物镜光阑的旋转装置，包括：叶片支撑座；转盘，可转动地设置在所述叶片支撑座之上；以及限位机构，与所述叶片支撑座相连并沿竖直方向弹性点压所述转盘。转盘在叶片支撑座的表面运动，限位机构与叶片支撑座相连还能够沿竖直方向弹性点压转盘，一方面，限位机构能够弹性运动，进而能够抵抗转盘沿竖直方向的振动和冲击；另一方面，限位机构与转盘之间点接触，相比线性接触和面接触显著降低了接触面积，进而降低摩擦还能减少颗粒产生，延缓颗粒污染物镜内部的时间，提高了物镜光阑的旋转装置的可靠性。
本发明授权物镜光阑的旋转装置在权利要求书中公布了：1.一种物镜光阑的旋转装置，其特征在于，包括： 叶片支撑座1； 转盘2，可转动地设置在所述叶片支撑座1之上；以及 限位机构3，与所述叶片支撑座1相连并沿竖直方向弹性点压所述转盘2； 所述限位机构3包括： 底座31，所述底座31的第一端与所述叶片支撑座1相连，所述底座31的第二端设置在所述转盘2的边缘区域20的上方并开设有沿竖直方向延伸的定位孔311； 点压件32，所述点压件32的第一端活动设置在所述定位孔311，所述点压件32的第二端设有用于点压所述边缘区域20的球面320；以及 弹性件33，连接在所述底座31的第二端和所述点压件32的第二端之间以对所述点压件32施加沿竖直方向的弹力。
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