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龙图腾网获悉深圳市端天科技有限公司申请的专利一种易结晶的ITO电容膜镀膜工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116180010B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310178031.5，技术领域涉及：C23C14/10；该发明授权一种易结晶的ITO电容膜镀膜工艺是由甄元石;尉士民设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种易结晶的ITO电容膜镀膜工艺在说明书摘要公布了：本发明提供一种易结晶的ITO电容膜镀膜工艺，包括以下步骤：步骤S1：选择低温镀膜室，低温镀膜室内设置有SiOx镀膜区以及ITO镀膜区，其中x为常数，且0≦x≦2，将PET基材放入放卷室内；步骤S2：向SiOx镀膜区通入一定量的氩气，采用电压控制模式，向ITO镀膜区分别通入氩气和氧气的混合气体，并通过气体反应控制器控制氧气通入量，控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为1.5～5％，步骤S3：将PET基材在低温镀膜室的放卷室内依次经过SiOx镀膜区、ITO镀膜区；步骤S4：对镀膜完成后的PET基材进行收取，本发明通过控制合适的镀膜速度、控制氧气通入量在气体总通入量中的占比、ITO靶溅射功率和ITO靶材中In2O3和SnO2的比例，缩短加热老化时间。

本发明授权一种易结晶的ITO电容膜镀膜工艺在权利要求书中公布了：1.一种易结晶的ITO电容膜镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1：选择低温镀膜室，低温镀膜室内设置有SiOx镀膜区以及ITO镀膜区，将PET基材放入放卷室内； 所述步骤S1中，低温镀膜室外部设置有放卷室以及收卷室，所述放卷室和收卷室内部均安装有用于PET基材进行传动的导向辊，所述收卷室内设置有用于对PET基材进行收集的收卷辊，低温镀膜室内安装有用于对PET基材进行导向的导向辊以及主辊，收卷室内设置有用于带动收卷辊转动传动件，传动件带动收卷辊转动，收卷辊对PET基材产生拉力，使PET基材顺着导向辊移动； 所述收卷室设置有用于PET基膜校正的校正件，所述校正件包括传动架1、固定架9以及传动校准膜10，所述传动架1和固定架9内部均设置有可沿其内部上下移动的升降导轴15，升降导轴15上安装有导膜轮5，传动架1和固定架9内部均安装有校准膜卷辊12，校准膜卷辊12上缠绕有绕过两组导膜轮5的传动校准膜10，所述传动架1和固定架9内侧安装有压力传感器7，所述传动校准膜10一端缠绕在传动架1内部的校准膜卷辊12上，另一端缠绕在固定架9内侧校准膜卷辊12上； 步骤S2：向SiOx镀膜区通入一定量的氩气，采用电压控制模式，设定SiOx镀膜区功率在10～30kw之间，ITO镀膜区功率在6～20kw之间，向ITO镀膜区分别通入氩气和氧气的混合气体，并通过气体反应控制器控制氧气通入量，控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为1.5～5％； 步骤S3：将PET基材在低温镀膜室的放卷室内依次经过SiOx镀膜区、ITO镀膜区，在SiOx镀膜区、ITO镀膜区移动速度在1.5～6mmin； 步骤S4：对镀膜完成后的PET基材进行收取。

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