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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种定量输出设备以及前驱体供应方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116180052B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310188652.1，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种定量输出设备以及前驱体供应方法是由陈蓉;苏宇;刘潇;单斌设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种定量输出设备以及前驱体供应方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种定量输出设备，包括供应装置、缓冲装置、管路组件和控制阀组件，供应装置中有液态的前驱体，缓冲装置配置为能将前驱体雾化，管路组件包括用于将供应装置与缓冲装置连接的前驱体源管路和进气管路，前驱体源管路包括第一源管路和第二源管路，进气管路将外部气源与第二源管路连接，第二源管路上设置有液体流量计，控制阀组件包括第一阀体和第二阀体，第一阀体设置于第二源管路，第二阀体设置于进气管路。本设备通过供应装置配合第一阀体和液体流量计实现精确控制通入前驱体的量，配合缓冲装置、进气管路和第二阀体对前驱体源管路进行清扫，将管路和液体流量计中残留的前驱体冲入缓冲装置，进一步提高前驱体的利用率，节省生产成本。

本发明授权一种定量输出设备以及前驱体供应方法在权利要求书中公布了：1.一种定量输出设备，其特征在于，包括： 供应装置100，所述供应装置100中存储有液态的前驱体； 缓冲装置200，所述缓冲装置200配置为能够将所述前驱体雾化； 管路组件300，所述管路组件300包括前驱体源管路310和进气管路，所述前驱体源管路310包括第一源管路311和第二源管路312，所述第一源管路311连接所述供应装置100与外部气源，所述第二源管路312连接所述供应装置100与所述缓冲装置200，所述进气管路的一端与外部气源连接，所述进气管路的另一端与所述第二源管路312连接，所述第二源管路312上设置有液体流量计3121；以及 控制阀组件400，所述控制阀组件400包括第一阀体410和第二阀体420，所述第一阀体410设置于所述第二源管路312，所述第二阀体420设置于所述进气管路； 所述管路组件300还包括增压管路330，所述进气管路包括第一进气管段321和第二进气管段322，所述增压管路330一端与所述第一进气管段321和第二进气管段322的连接处以三通的方式连接，所述增压管路330另一端与所述缓冲装置200连接，所述控制阀组件400还包括第三阀体430，所述第三阀体430设置于所述增压管路330。

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