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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种适用于磁性晶圆的磁悬浮清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313896B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211692160.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种适用于磁性晶圆的磁悬浮清洗装置是由俞辉;王晨;韩五静设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于磁性晶圆的磁悬浮清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于磁性晶圆的磁悬浮清洗装置，涉及到货物运输领域，包括超声波清洗槽、驱动用于承载磁性晶圆的放置框进行上下运动的两电动伸缩杆，所述放置框的内腔竖直放置有若干个磁性晶圆，每个所述磁性晶圆的底部均安装有竖直向外倾斜张开设置的两承重永磁体，所述放置框两相对的侧壁上均安装有水平向外倾斜张开设置的两限位永磁体，且两所述限位永磁体分别位于所述磁性晶圆的两侧。通过倾斜设置的四个限位永磁体和两承重永磁体的配合可使得磁性晶圆稳定悬浮，以实现对磁性晶圆地无接触超声波清洗，使得磁性晶圆清洗的更加彻底且不会发生变形。

本发明授权一种适用于磁性晶圆的磁悬浮清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于磁性晶圆的磁悬浮清洗装置，包括超声波清洗槽1、驱动用于承载磁性晶圆的放置框2进行上下运动的两电动伸缩杆4，其特征在于：所述放置框2的内腔竖直放置有若干个磁性晶圆，且若干个所述磁性晶圆分别被多个隔磁板6一一隔开，每个所述磁性晶圆的底部均安装有竖直向外倾斜张开设置的两承重永磁体8，且所述两承重永磁体8分别位于所述磁性晶圆的两侧，两所述承重永磁体8的两端与所述放置框2的两相对侧壁之间的距离相等，两所述承重永磁体8与所述磁性晶圆相对的端面的磁极相同，所述放置框2两相对的侧壁上均安装有水平向外倾斜张开设置的两限位永磁体7，且两所述限位永磁体7分别位于所述磁性晶圆的两侧，两所述限位永磁体7与所述磁性晶圆的相对端的磁极相同，四组所述限位永磁体7均位于两所述承重永磁体8的上方； 还包括磁力甩干单元9，每个所述磁性晶圆的两侧均固定安装有两所述磁力甩干单元9，所述磁力甩干单元9包括带有安装孔的筒体92，所述筒体92通过转轴94转动安装有电磁铁93，且所述电磁铁93的轴心与所述磁性晶圆的轴心位于同一条直线上，所述筒体92的侧端上固定有电机91，且所述电机91位于所述筒体92内腔的输出轴通过齿轮95与所述转轴94位于所述筒体92内腔的一端啮合连接，所述电磁铁93的连接导线贯穿所述转轴94并与所述筒体92内的导电滑环96的转动端连接，所述导电滑环96的固定端连接导线贯穿所述筒体92和所述放置框2并与安装在所述超声波清洗槽1外壁上的控制器电性连接，所述放置框2上通过合页5转动设置有密封盖3。

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