厦门市三安集成电路有限公司丁振文获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门市三安集成电路有限公司申请的专利一种电加热宽调谐范围窄线宽DFB激光器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116316067B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310089224.3,技术领域涉及:H01S5/22;该发明授权一种电加热宽调谐范围窄线宽DFB激光器及其制作方法是由丁振文;孙维忠;黄祝阳设计研发完成,并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电加热宽调谐范围窄线宽DFB激光器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电加热宽调谐范围窄线宽的DFB激光器及其制作方法,其结构包括DFB外延结构、负极金属、正极金属和加热电极金属,外延结构的正面设有脊波导;外延结构沿DFB激光器的腔长方向包括相移区和增益区,腔长方向的一端为反射端面,其中相移区靠近反射端面;增益区的外延结构包括光栅,相移区的外延结构不包括光栅,正极金属覆盖增益区和相移区脊波导的70%以上,加热电极金属位于相移区脊波导的一侧。本发明通过在芯片反射端引入加热电极金属,并结合部分光栅的外延设计,实现电流控制的快速且宽范围的激光器调谐,实现了精细的无跳模频率调谐的功能。
本发明授权一种电加热宽调谐范围窄线宽DFB激光器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种电加热宽调谐范围窄线宽的DFB激光器,其特征在于:包括DFB外延结构、负极金属、正极金属和加热电极金属,外延结构的正面设有脊波导;外延结构沿DFB激光器的腔长方向包括相移区和增益区,腔长方向的一端为反射端面,另一端为出光端面,相移区靠近反射端面;相移区的长度占所述激光器的腔长的5%~20%; 增益区的外延结构包括光栅和有源层,有源层贯穿所述相移区和增益区,光栅仅设于增益区的有源层的上方或下方,相移区不包括光栅; 所述外延结构的正面覆盖有钝化层,钝化层于所述脊波导上设有开口,钝化层在脊波导上的开口到距离出光端边缘10um处; 正极金属和加热电极金属设于钝化层上,正极金属覆盖增益区和相移区脊波导的70%以上并通过所述开口与所述脊波导接触;加热电极金属位于相移区脊波导的一侧的钝化层上,长度占所述相移区的长度的70%以上,与所述脊波导的距离小于50um,且加热电极金属的电阻大于100Ω; 所述负极金属设于所述衬底的背面,或通过正面蚀刻露出所述外延结构的n型掺杂区域上。
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