买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法及制备的超透镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116338834B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211412677.7，技术领域涉及：G02B3/00；该发明授权超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法及制备的超透镜是由韩业明;邓永波;王承邈;林雨;张健宇;李博文设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法及制备的超透镜在说明书摘要公布了：本发明提供一种超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法及制备的超透镜，属于微纳光学技术领域。本发明的超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法，通过双面对准光刻配合刻蚀制备凸起的金属铬对准标记，相对于胶结构的对准标记具有更好的边缘锐度；相对于向下刻蚀的对准标记，在后续工艺过程中被覆盖时更易被观察，使后面的光刻工艺的对准精度≤4μm；聚焦超透镜微纳结构制备后采用镀膜工艺制备金属铬膜保护层，在校正超透镜微纳结构的过程中保护聚焦超透镜微纳结构不被损伤；采用去铬液，去铬液通常呈酸性，与超透镜双面微纳结构材料均不发生反应，能在不损伤微纳结构的情况下较好地去除金属铬保护膜层及凸起的金属铬对准标记。

本发明授权超透镜的双面单层和双面多层微纳结构的制备方法及制备的超透镜在权利要求书中公布了：1.一种超透镜的双面单层微纳结构的制备方法，双面微纳结构为聚焦超透镜微纳结构和校正超透镜微纳结构，分别位于超透镜基底的正反两面，其特征在于，包括以下步骤： 采用镀膜工艺分别在聚焦超透镜微纳结构材料膜层和校正超透镜微纳结构材料膜层上镀金属铬层； 采用双面对准光刻工艺在微纳结构的制备区域两侧的金属铬层上制备对准标记掩膜； 采用刻蚀工艺在所述聚焦超透镜微纳结构材料膜层和所述校正超透镜微纳结构材料膜层上分别制备凸起的金属铬对准标记； 根据所述聚焦超透镜微纳结构材料膜层上凸起的金属铬对准标记，采用光刻配合刻蚀工艺先制备所述聚焦超透镜微纳结构，再在所述聚焦超透镜微纳结构上采用镀膜工艺制备金属铬膜保护层； 根据所述校正超透镜微纳结构材料膜层上凸起的金属铬对准标记，采用光刻配合刻蚀工艺制备所述校正超透镜微纳结构； 采用去铬液去除所述金属铬膜保护层和凸起的金属铬对准标记。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，其通讯地址为：130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。