买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置及成膜装置的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116397208B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310551502.2，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权成膜装置及成膜装置的控制方法是由添田雄二郎设计研发完成，并于2019-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本成膜装置及成膜装置的控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够更准确且简单地掌握装置的状况来进行成膜控制的技术。本发明涉及的成膜装置及成膜装置的控制方法的特征在于，通过速率控制来进行成膜，速率控制是加热控制部以使获取部所获取的成膜速率维持成规定的值的方式控制向加热源供给的电力量的控制，在获取部所获取的成膜速率超过规定的阈值时，从速率控制切换为电力控制来进行成膜，所述电力控制是加热控制部以不依赖于获取部所获取的成膜速率地设定的电力量向加热源进行电力供给的控制，在所述电力控制进行之中，基于旋转控制部以使规定期间内的成为所述非遮蔽状态的期间的长度变化的方式变动旋转体的旋转速度时的所述规定期间内的水晶振子的共振频率的变动量，来判定成膜装置的状态。

本发明授权成膜装置及成膜装置的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，具备： 腔室，其收容成膜对象物； 加热控制部，其控制向加热源供给的电力，所述加热源用于对配置在所述腔室内的容器所收容的成膜材料进行加热； 监测单元，其配置在所述腔室内，用于检测成膜材料相对于成膜对象物的成膜速率，所述监测单元具备水晶振子以及具有遮蔽部和开口部且配置在所述水晶振子与所述容器之间的旋转体； 旋转控制部，其控制所述旋转体的旋转，以获得所述遮蔽部位于所述容器与所述水晶振子之间的遮蔽状态和所述开口部位于所述容器与所述水晶振子之间的非遮蔽状态中的任一种状态；以及 获取部，其基于所述水晶振子的共振频率的变化来获取所述成膜速率， 所述成膜装置用于在所述成膜对象物上成膜由所述成膜材料构成的膜，其特征在于， 具备状态判定部，在所述加热控制部将向所述加热源供给的电力保持为恒定的状态下，在所述旋转控制部以使规定期间内的成为所述非遮蔽状态的期间的长度变化的方式变动所述旋转体的旋转速度时的所述规定期间内的所述共振频率的变动量没有落入规定的范围内的情况下，所述状态判定部判定为是所述监测单元产生了故障的状态，在所述旋转控制部以使规定期间内的成为所述非遮蔽状态的期间的长度变化的方式变动所述旋转体的旋转速度时的所述规定期间内的所述共振频率的变动量落入规定的范围内的情况下，所述状态判定部判定为是所述容器所收容的所述成膜材料发生了突沸的状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能特机株式会社，其通讯地址为：日本新泻县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。