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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479388B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310457661.6，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法是由李萌萌;李兆营;李海涛设计研发完成，并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法在说明书摘要公布了：一种公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法包括步骤：S1，提供真空蒸镀装置：真空蒸镀装置包括壳体、公自转行星系统、支撑平台、电子束蒸发源以及衬板，壳体内部具有腔室和抽真空孔，公自转行星系统位于腔室内且包括多个行星锅，各行星锅的自转轴线相对公转轴线倾斜，衬板用于对抽真空孔进行遮挡但不妨碍抽真空；S2，放置单个坩埚：将坩埚置于腔室内以位于公转轴线正下方；S3，放置待镀膜的晶圆；S4，抽真空；S5，启动公自转行星系统；S6，执行第一次蒸镀：第一次蒸镀在各晶圆的表面上沉积达到的膜厚为预期总膜厚的一半；S7，各晶圆姿态调整180度：S8，再次启动公自转行星系统；S9，执行第二次蒸镀：第二次蒸镀沉积达到的膜厚为预期总膜厚的一半。

本发明授权公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法，其特征在于，包括步骤： S1，提供真空蒸镀装置100：真空蒸镀装置100包括壳体1、公自转行星系统2、支撑平台3、电子束蒸发源4以及衬板5，壳体1内部具有腔室11且在靠近支撑平台3的底部设有抽真空孔12，腔室11在电子束蒸发源4工作前处于室温，公自转行星系统2位于腔室11内且包括多个行星锅21，各行星锅21具有凹的锅面211以及圆环形的锅缘212，各行星锅21的自转轴线L2相对公转轴线L1倾斜，各行星锅21能够围绕公转轴线L1公转且能够自身的自转轴线L2自转，支撑平台3位于腔室11内且位于公自转行星系统2的下方，支撑平台3用于支撑电子束蒸发源4、衬板5和坩埚200，衬板5位于支撑平台3上、位于公自转行星系统2的下方且位于壳体1的抽真空孔12的内侧，衬板5用于在上下方向D1、前后方向D2和左右方向D3对抽真空孔12进行遮挡但不妨碍抽真空孔12的抽真空操作； S2，放置单个的坩埚200：将单个的坩埚200置于腔室11内，以使坩埚200位于公自转行星系统2的公转轴线L1的正下方，坩埚200用于盛放电子束蒸发镀膜的固态镀料； S3，放置待镀膜的晶圆300：将多个待镀膜的圆形的晶圆300固定在公自转行星系统2的各行星锅21上，各晶圆300为两面均为平面的等厚度的圆片，各晶圆300的待镀覆的表面面向坩埚200，各行星锅21上的多个晶圆300的圆心O2处于该行星锅21的围绕该行星锅21的圆心O1的同一圆圈上并等间隔分布； S4，抽真空：通过抽真空孔12对腔室11进行抽真空，并维持腔室11真空度小于2.0×10-4Pa； S5，启动公自转行星系统2：启动公自转行星系统2，以使各行星锅21围绕公转轴线L1公转同时围绕自身的自转轴线L2自转； S6，执行第一次蒸镀：在腔室11维持前述真空度范围下，启动电子束蒸发源4，以使电子束蒸发源4产生的热电子束轰击坩埚200内固态镀料的表面、固态镀料的表面的镀料蒸发并朝向蒸镀到围绕公转轴线L1公转同时围绕自身的自转轴线L2自转的各行星锅21上的晶圆300的面向坩埚200的表面沉积，第一次蒸镀在各晶圆300的表面上沉积达到的膜厚为预期总膜厚的一半； S7，各晶圆300姿态调整180度：在第一次蒸镀完成后，停止电子束蒸发源4并停止公自转行星系统2，将各行星锅21上的各晶圆300的对位缺口300a和与对位缺口300a处于晶圆300的同一直径上的180度的相反位点300b对调； S8，再次启动公自转行星系统2：再次启动公自转行星系统2，以使各行星锅21围绕公转轴线L1公转同时围绕自身的自转轴线L2自转； S9，执行第二次蒸镀：在腔室11维持前述真空范围下，再次启动电子束蒸发源4，在已经进行第一次蒸镀形成的镀膜的表面进行第二次蒸镀，第二次蒸镀沉积达到的膜厚为预期总膜厚的一半； 各晶圆300的对位缺口300a和与对位缺口300a处于晶圆300的同一直径上的180度的相反位点300b与对应的行星锅21的穿过行星锅21的圆心O1和该晶圆300的圆心O2的半径垂直； 在步骤S5、步骤S6、步骤S8和步骤S9中，各行星锅21围绕公转轴线L1顺时针公转，各行星锅21围绕自转轴线L2逆时针自转。

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