强一半导体(苏州)股份有限公司于海超获国家专利权
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龙图腾网获悉强一半导体(苏州)股份有限公司申请的专利一种薄膜探针卡获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116559506B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310479236.7，技术领域涉及：G01R1/073；该发明授权一种薄膜探针卡是由于海超;封振;张恒瑜设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜探针卡在说明书摘要公布了：本发明公开了一种圆晶测试技术领域的薄膜探针卡，旨在解决现有技术中多排平行分布薄膜探针中每根探针所提供的接触力大小不同，影响装置工作效果的问题。其包括相互连接的PCB板和薄膜探针头，薄膜探针头包括支撑体、设于支撑体作用面上的薄膜以及位于薄膜第一表面的多排探针，每排探针包括排头探针和排尾探针，每排探针包括第一探针和第二探针，薄膜于第一探针和第二探针下方分别设有第一刚性元件和第二刚性元件；本发明适用于晶圆测试，通过第一刚性元件和第二刚性元件分别对第一探针和第二探针的下方区域起到加强作用，阻碍了第一探针和第二探针的旋转，使得各个探针下方的结构变形基本一致，保证了每根探针所提供的接触力基本一致。
本发明授权一种薄膜探针卡在权利要求书中公布了：1.一种薄膜探针卡，其特征在于，包括相互连接的PCB板1和薄膜探针头2，所述薄膜探针头2包括支撑体21、设于所述支撑体21作用面上的薄膜22以及位于所述薄膜22第一表面24的多排探针23，每排所述探针23包括排头探针231和排尾探针232，每排所述探针23包括最靠近所述排头探针231的第一探针233和最靠近所述排尾探针232的第二探针234，所述薄膜22于所述第一探针233和所述第二探针234下方分别设有第一刚性元件4和第二刚性元件5，所述第一刚性元件4与所述第一探针233沿着垂直于所述第一表面24的投影存在重叠，且与所述排头探针231沿着垂直于第一表面24的投影不存在重叠，所述第二刚性元件5与所述第二探针234沿着垂直于所述第一表面24的投影存在重叠，且与所述排尾探针232沿着垂直于所述第一表面24的投影不存在重叠。
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