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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116575006B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310666464.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶及其制备方法是由王之君;陈重阳;孙本双;王成铎;陈杰;刘洋;刘苗;曾学云设计研发完成，并于2023-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶及其制备方法。该制备方法包括步骤：S1、取设定量的铟盐溶液、锌盐溶液、稀土盐溶液混合，并加入设定量的纯水、稳定剂和有机溶剂，搅拌得到前驱体溶液；S2、将前驱体溶液旋涂在硅晶片上，对涂覆有前驱体溶液的硅晶片进行干燥；S3、干燥后的硅晶片在设定温度下退火处理，得到稀土掺杂氧化铟锌复合物薄膜；其中，退火处理的温度为200～400℃；S4、通过铟颗粒将稀土掺杂氧化铟锌复合物薄膜粘在钛背板上，得到稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶。本发明实施例公开的稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶的制备方法制备工艺简单，节省能耗，成型产品透光率高，电阻率低。

本发明授权稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶及其制备方法在权利要求书中公布了：1.稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶的制备方法，其特征在于，包括步骤： S1、取设定量的铟盐溶液、锌盐溶液、稀土盐溶液混合，并加入设定量的纯水、稳定剂和有机溶剂，搅拌得到前驱体溶液；所述前驱体溶液中稀土原子、铟原子、锌原子的摩尔比为0.03：1：1；铟盐为硝酸盐、硫酸盐或氯盐；锌盐为硝酸盐、硫酸盐或氯盐；稀土盐为硝酸盐、硫酸盐或氯盐；稀土盐溶液的稀土元素为镧、镨、钕、铈、铽、镱中的一种；所述稳定剂为单乙醇胺、二乙醇胺或乙酰丙酮；有机溶剂为2-甲氧基乙醇、醋酸甲氧乙酯或丙二醇单甲醚乙酸酯； S2、将前驱体溶液旋涂在硅晶片上，对涂覆有前驱体溶液的硅晶片进行干燥；具体包括：硅晶片预先在80W的功率下用氧等离子体处理300s；将前驱体溶液旋涂在硅晶片上，旋涂机的转速为2000～5000rpm，旋涂时间为30s；将涂覆有前驱体溶液的硅晶片在50℃下软烤5min去除有机溶剂；然后再放置在100～200℃的热板上硬烤15～30min进行干燥； S3、干燥后的硅晶片在设定温度下退火处理，得到厚度为300～600nm的稀土掺杂氧化铟锌复合物薄膜；其中，退火处理的温度为200～400℃； S4、通过铟颗粒将稀土掺杂氧化铟锌复合物薄膜粘在钛背板上，得到稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶；具体包括：将钛背板在空气中加热到200℃，然后在钛背板上放置铟颗粒，待铟颗粒熔化后，将稀土掺杂氧化铟锌复合物薄膜压在钛背板上，自然冷却至室温，得到稀土掺杂氧化铟锌溅射膜靶。

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