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中国科学院合肥物质科学研究院;安徽大学余耀伟获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院合肥物质科学研究院;安徽大学申请的专利一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116677620B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310853265.5,技术领域涉及:F04D19/04;该发明授权一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法是由余耀伟;王超;周德泽;曹斌;潘浩;凡斌;左桂忠;胡建生设计研发完成,并于2023-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法,包括:真空抽气系统、真空供气系统、真空测量系统、辅助加热系统。真空抽气系统中的主真空室抽气机组由涡轮分子泵与前级泵构成;真空供气系统由小型储气罐与标准储气瓶通过真空管道与主真空室连接,用于实验过程中供气;真空测量系统由各类型规管及残余气体分析仪构成,能够测量出真空室与储气罐气体压力,分析与检测主真空室残余气体成分与状态,实时测量充气速率;辅助加热系统由电源及其控制系统构成,维持吸附剂泵工作所需温度,加热坩埚进行涂层处理及初始阶段进行壁处理。采用本发明,真空抽气机组能够快速抽真空至10‑6Pa量级,用于吸附剂泵抽速性能研究,并研究涂层处理对吸附剂泵性能的影响。

本发明授权一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于吸附剂泵性能测试的真空装置,其特征在于:包括真空抽气系统、真空供气系统、真空测量系统和辅助加热系统; 所述真空抽气系统中的抽气机组由涡轮分子泵与前级泵构成,由插板阀与主真空室连通;所述真空供气系统用于实验过程中供气,第一小型储气罐、第二小型储气罐和标准储气瓶通过真空管道与主真空室连接;所述真空测量系统由第二小型储气罐上方的第一规管、第二规管、残余气体分析仪、第一压差传感器、第二压差传感器构成,第一压差传感器通过真空管道将标准储气瓶与第一小型储气罐相连通,第二压差传感器通过真空管道将第一小型储气罐与第二小型储气罐相连通,第二小型储气罐通过充气阀与主真空室连通,残余气体分析仪和第二规管通过真空管道与主真空室连通,真空测量系统用于分析与检测主真空室残余气体成分与状态,实时测量充气速率;所述辅助加热系统由电源及电源控制系统构成,分别为吸附剂泵电源、坩埚电源、壁真空腔烘烤电源及对应的电源控制系统,用于维持吸附剂泵工作所需温度,加热坩埚进行涂层处理及初始阶段进行壁处理; 排空泵通过真空管道与第二小型储气罐连通,用于罐内气体受到污染时对其进行排空,以保证实验过程中工作气体纯度,同时用于置换气体,以提供多种工作气体; 所述吸附剂泵电源,满足吸附剂泵从最佳工作状态到再生状态所需的电压和电流范围;所述壁真空腔烘烤电源为输出电压可调的交流或直流电源,用于烘烤真空室壁放气;所述坩埚电源,用于对主真空室内吸附剂泵进行锂或硼的涂层材料的处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院合肥物质科学研究院;安徽大学,其通讯地址为:230031 安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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