东北大学张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉东北大学申请的专利一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116689204B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310643863.X，技术领域涉及：B05B17/06；该发明授权一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法是由张磊;李景俊;王修琨;孙雅东设计研发完成，并于2023-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法，所述的一种基于谐振腔的非接触雾化装置包括超声装置、供液系统、声室，超声装置设置在声室的开口处，所述的供液系统设置在声室内与超声装置为相对位置，声室内设置有谐振腔，谐振腔设置在超声装置的相对位置。本发明结构简单、性能稳定可靠，易加工，装置成本低，功率损耗小；本发明可实现声波在局域腔体的聚焦与增强，实施过程中能量利用率、粒度可控度、粒度尺度范围得到优化；本发明喷胶涂胶覆盖面积大，均匀度高，不受晶圆基底表面形貌限制，能够实现复杂三维微结构的光刻胶共形涂覆等技术；雾化过程中具有抗污染抗性、防堵塞性。
本发明授权一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法在权利要求书中公布了：1.一种基于谐振腔的非接触雾化装置，包括超声装置、供液系统、声室7，声室7的顶壁左端设置有开口，超声装置设置在声室7的开口处，所述的供液系统设置在声室7内与超声装置为相对位置，其特征在于，声室7的底壁上设置有谐振腔6，谐振腔6设置在超声装置的相对位置；供液系统为玻璃微针4，所述的玻璃微针4通过声室7顶壁的开孔伸入到声室7中，针尖的位置处于谐振腔6中； 超声装置包括超声换能器1、变幅杆2、工具头3，所述的超声换能器1与变幅杆2通过螺纹连接，工具头3固定连接到变幅杆2上； 所述的供液系统设置有光刻胶雾滴聚焦速度的调节装置，所述调节装置设置在声室7中的谐振腔腔壁12外的周围，该调节装置内部设有一个螺旋形的气路和一个气路入口10，气路入口10设置在其中一个壁面上，与气路入口10相邻设有气路缓冲室11，气路入口10与气泵连接，气体从气路入口10进入，经过气路缓冲室11，然后顺着谐振腔腔壁12外侧的气路出口流出。
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