无锡升滕半导体技术有限公司杨从飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡升滕半导体技术有限公司申请的专利一种碳化硅炉管清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116697767B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310691212.8，技术领域涉及：F27D25/00；该发明授权一种碳化硅炉管清洗工艺是由杨从飞;孙德付设计研发完成，并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅炉管清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳化硅炉管清洗工艺，涉及碳化硅炉管清洗技术领域。本发明清洗工艺包括如下步骤：将碳化硅炉管依次在纯水、氢氟酸溶液、清洗液中清洗；水洗、干燥，检测表面颗粒物数量达标，碳化硅炉管清洗完成。本申请可以对碳化硅炉管表面的有机杂质、重金属离子以及碱金属离子进行有效快速的清洗。
本发明授权一种碳化硅炉管清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅炉管清洗工艺，其特征在于，工艺包括如下步骤：S1：将碳化硅炉管在纯水中浸泡； S2：将碳化硅炉管在氢氟酸中浸泡； S3：将氢氟酸溶液浸泡后的碳化硅炉管置于清洗液中清洗； S4：水洗、干燥，清洗完成； 所述清洗液包括如下重量百分比的原料：3-12%四甲基氢氧化铵、5-15%脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵、1-5%添加剂，余量为水； 所述添加剂的制备方法包括如下步骤： S1：将大孔氯甲基聚苯乙烯树脂、四氢呋喃混合搅拌均匀，加入乙二胺，升温至40-50℃，保温24-36h，抽滤、洗涤、干燥，得到乙二胺改性树脂； S2：在氮气氛围中，将乙二胺改性树脂加入二氯甲烷、乙二胺四乙酸的混合溶液中，加入二氯亚砜，反应3-6h，得到改性树脂； S3：将改性树脂、肌醇六磷酸加入反应器中，常温搅拌24-36h，水洗、干燥，得到添加剂； 所述大孔氯甲基聚苯乙烯树脂：四氢呋喃：乙二胺的质量比为1：1-2：4-8； 所述乙二胺改性树脂：二氯甲烷：乙二胺四乙酸：二氯亚砜的质量比为1：100-200：10-15：3-6； 所述改性树脂：肌醇六磷酸的质量比为1:0.01-0.1。
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