合肥清溢光电有限公司汪春杨获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥清溢光电有限公司申请的专利一种半色调掩膜版透过率测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116718569B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310625072.4，技术领域涉及：G01N21/59；该发明授权一种半色调掩膜版透过率测量方法是由汪春杨;熊启龙设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半色调掩膜版透过率测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半色调掩膜版透过率测量方法，半色调掩膜版上，一个视野范围内，具有相邻的全透区、不透区和半透区，测量方法为:首先，在半色调掩膜版两侧分别无接触的设置激光发射器和激光接收器；然后仅打开激光发射器，使得激光发射器发射的激光穿过半透区；再然后打开激光接收器，激光接收器分别获得全透区、不透区和半透区透过的激光信号，分别记为A、B、C；最后计算半透区的透过率T，计算公式为：T＝[C‑BA‑B]×100％；本发明的半色调掩膜版透过率测量方法中测量操作简单快速，全程无接触测量，能够满足半色调掩膜版高精度加工要求。同时采用光电信号进行测量，测量精度高，对测量工具和环境要求较低。
本发明授权一种半色调掩膜版透过率测量方法在权利要求书中公布了：1.一种半色调掩膜版透过率测量方法，其特征在于，所述半色调掩膜版上，一个视野范围内，具有相邻的全透区、不透区和半透区， 测量方法为:首先，在半色调掩膜版两侧分别无接触的设置激光发射器和激光接收器；然后仅打开所述激光发射器，使得所述激光发射器发射的激光穿过所述半透区；最后打开所述激光接收器，所述激光接收器分别获得所述全透区、所述不透区和所述半透区透过的激光信号，分别记为A、B、C；最后计算所述半透区的透过率T，计算公式为：T＝[C-BA-B]×100％； 所述激光波长为I线365nm、H线405nm或G线435nm。
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