深圳市格灵精睿视觉有限公司杨延竹获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市格灵精睿视觉有限公司申请的专利一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116758105B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310421153.2，技术领域涉及：G06T7/13；该发明授权一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质是由杨延竹;李国正;于波;张华设计研发完成，并于2023-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施例属于半导体技术领域，提供了一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质,边缘检测方法通过对晶圆进行光学成像，得到晶圆图像，根据晶圆图像进行边缘特征提取，得到多个晶圆边缘数据，获取晶圆的设计图纸文件，根据设计图纸文件获取晶圆的多个边缘设计数据，将所有边缘设计数据映射至晶圆图像，得到多个晶圆边缘参考数据，根据所有晶圆边缘参考数据和所有晶圆边缘数据对所述晶圆进行边缘检测，得到检测结果。通过本申请提出的方法将晶圆的在设计图纸文件上的边缘映射至晶圆图像上，通过映射的边缘与晶圆实际的边缘进行比较，提供了准确的检测基准，降低了边缘检测的难度，提高了晶圆边缘的检测准确率。
本发明授权一种晶圆的边缘检测方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的边缘检测方法，其特征在于，所述边缘检测方法包括以下步骤： 对所述晶圆进行光学成像，得到晶圆图像； 根据所述晶圆图像进行边缘特征提取，得到多个晶圆边缘数据； 获取所述晶圆的设计图纸文件，根据所述设计图纸文件获取所述晶圆的多个边缘设计数据； 将所有所述晶圆边缘数据和所有所述边缘设计数据进行函数拟合，得到映射函数； 根据所述映射函数将所有所述边缘设计数据映射至所述晶圆图像，得到多个晶圆边缘参考数据； 根据所有所述晶圆边缘参考数据和所有所述晶圆边缘数据对所述晶圆进行边缘检测，得到检测结果。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市格灵精睿视觉有限公司，其通讯地址为：518064 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南环路46号留学生创业大厦二期2层南区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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