中国航发沈阳发动机研究所乔廷强获国家专利权
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龙图腾网获悉中国航发沈阳发动机研究所申请的专利一种高硬度耐磨压电传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116875942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310846513.3,技术领域涉及:C23C14/16;该发明授权一种高硬度耐磨压电传感器及其制备方法是由乔廷强;韩晓娇;张冰;夏斌宏;杨忠杨;柳小洁;张伟东;李猛;石尚武设计研发完成,并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高硬度耐磨压电传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请属于航空发动机传感器领域,特别涉及一种高硬度耐磨压电传感器及其制备方法。压电传感器,包括:基体,所述基体上依次沉积有Cr结合层、CrN金属陶瓷过渡层、CrNZnN纳米多层共混层、CrNZnO多层压电功能层。本申请的高硬度耐磨压电传感器,涂层结构采用梯度结构,可以大幅度降低压电涂层的内应力,避免其产生剥落,采用CrN作为复合对象,其和各类钢的基体都具有良好的附着力,可以在各类钢材上获得良好的附着效果。
本发明授权一种高硬度耐磨压电传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高硬度耐磨压电传感器,其特征在于,包括: 基体1,所述基体1上依次沉积有Cr结合层2、CrN金属陶瓷过渡层3、CrNZnN纳米多层共混层4、CrNZnO多层压电功能层5; 所述CrNZnN纳米多层共混层4包括交替布置的CrN层以及ZnN层,所述CrNZnN纳米多层共混层4的总厚度为600~3000纳米,所述CrN层的单层厚度为4~20纳米,所述ZnN层的单层厚度为2~10纳米; 所述CrNZnO多层压电功能层5包括交替布置的CrN层以及ZnO层,所述CrN层的单层厚度为20~50纳米,所述ZnO层的单层厚度为500~2000纳米。
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