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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种用于CVD设备的焊接式多层匀气盘加工工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117020572B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310788502.4，技术领域涉及：B23P15/00；该发明授权一种用于CVD设备的焊接式多层匀气盘加工工艺是由潘虹;安朋娜;李文明设计研发完成，并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于CVD设备的焊接式多层匀气盘加工工艺在说明书摘要公布了：本发明公开一种CVD设备焊接式多层匀气盘制作方法，方法步骤包括：单件机加；单件检验；超声清洗；真空烘干；焊接一；焊后机加；焊接二；热处理；遮蔽；研磨；去遮蔽；校形；车加工；表面抛光；超声波脱脂清洗；表面吹干；真空干燥。该方法能满足焊接类多层匀气盘平面度≤0.02mm，平行度≤0.02mm，位置度≤0.1mm。焊接和热处理属于热加工，零件会产生变形，且变形量较大，无法满足平面度≤0.02mm，平行度≤0.02mm、位置度≤0.1mm的要求，且热处理后材料较软，车、铣加工产生的铝屑会堵住匀气盘孔，使匀气盘失去功能。该工艺适用于焊接式双层、多层的一阶孔、二阶孔、三阶孔、多阶孔匀气盘。

本发明授权一种用于CVD设备的焊接式多层匀气盘加工工艺在权利要求书中公布了：1.一种CVD设备焊接式多层匀气盘制作方法，其特征在于，包括步骤如下： 步骤一，将单个零件进行机加工； 步骤二，单个零件加工后进行检验； 步骤三，将单个零件进行超声清洗，将单个零件浸入超声清洗槽中进行超声清洗； 步骤四，超声清洗后，使用真空烘箱对单个零件进行加热干燥； 步骤五，焊接一，将零件二和零件三在千级无尘室内进行焊接，形成组件一； 步骤六，焊后机加，对组件一的焊接部位进行R角铣加工； 步骤七，焊接二，将零件一、零件四和组件一，在千级无尘室内进行焊接，形成焊接式多层匀气盘； 步骤八，将完成焊接的多层匀气盘转运至热处理炉，进行热处理； 步骤九，将完成热处理的焊接式多层匀气盘转运至遮蔽室，对匀气盘孔进行遮蔽； 步骤十，对遮蔽的多层匀气盘转运至研磨室，对其匀气盘孔面进行研磨； 步骤十一，对研磨后的焊接式多层匀气盘孔进行去遮蔽； 步骤十二，采用校形工装对焊接式多层匀气盘的连接管进行校形； 步骤十三，对焊接式多层匀气盘进行车加工； 步骤十四，将车加工后的CVD设备焊接式多层匀气盘转运至打磨室，采用600#砂纸对其表面进行打磨抛光； 步骤十五，将完成打磨抛光的焊接式多层匀气盘转运至清洗室，进行超声波脱脂清洗； 步骤十六，采用高纯氮气对多层匀气盘进行表面吹扫，使表面无水迹； 步骤十七，使用真空烘箱将多层匀气盘烘干，温度125℃，干燥时间3h； 所述步骤九中对CVD设备焊接式多层匀气盘中4008个φ1mm的匀气盘孔进行遮蔽，遮蔽的物质采用有机固体，将有机固体加热到80-110℃，变成液态，将CVD设备焊接式多层匀气盘浸入到液体中，使其匀气盘孔内充满液体，进行限位保证其腔内无液体进入，再进行冷却，将温度减低到20-25℃，保温1-2h，通过温度的变化，实现“固-液-固”相互转化，对匀气盘孔遮蔽； 所述步骤十一中对焊接式多层匀气盘中遮蔽的匀气盘孔去遮蔽，超声清洗槽中加入水和去除剂，比例为1：3-1：12，加热到60℃以上，将焊接式多层匀气盘放入超声波槽中浸泡30-40min，浸泡过程中往焊接式多层匀气盘的Tube里吹气，3-8min，浸泡完成后取出，用热水对焊接式多层匀气盘进行清洗，清洗完成后进行干燥，干燥时间为0.5-2h。

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