华为技术有限公司;北京大学东莞光电研究院刘南柳获国家专利权
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龙图腾网获悉华为技术有限公司;北京大学东莞光电研究院申请的专利反应器及生长装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117062945B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080108140.4，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权反应器及生长装置是由刘南柳;张浩东;申健设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应器及生长装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种反应器及生长装置，通过反应器本体的内部具有反应腔室，反应器本体上相对的两个侧壁上分别设有进气口和出气口，进气口和出气口均与反应腔室连通，反应腔室分隔为第一腔室和第二腔室，进气口包括第一进气口以及第二进气口，第一进气口和出气口分别与第一腔室连通，第二进气口与第二腔室连通，且第一腔室和所述第二腔室之间具有多个将第一腔室和第二腔室连通的控流通孔，能够提高反应气体与金属源的反应转化率，从而能够提高晶体的生长速率。
本发明授权反应器及生长装置在权利要求书中公布了：1.一种水平式HVPE反应器，其特征在于，至少包括： 反应器本体； 所述反应器本体的内部具有反应腔室，且所述反应器本体上相对的两个侧壁上分别设有进气口和出气口，所述进气口和所述出气口均与所述反应腔室连通； 所述反应腔室分隔为第一腔室和第二腔室，所述进气口包括第一进气口以及第二进气口，所述第一进气口和所述出气口分别与所述第一腔室连通，所述第二进气口与所述第二腔室连通； 且所述第一腔室和所述第二腔室之间具有多个控流通孔，以将所述第一腔室和所述第二腔室连通；每个所述控流通孔朝向所述第一腔室的一侧延伸形成有延伸部； 所述控流通孔被配置为将所述第二腔室内的气体喷入所述第一腔室内，以使所述第一腔室内的反应气体与金属源的充分接触。
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