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龙图腾网获悉化学与精细化工广东省实验室潮州分中心;武汉理工大学申请的专利一种碳化铪涂层的安全高效制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117187777B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311060503.3，技术领域涉及：C23C16/32；该发明授权一种碳化铪涂层的安全高效制备方法是由章嵩;涂溶;张联盟设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化铪涂层的安全高效制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳化铪涂层的安全高效制备方法，采用激光化学气相沉积法，包括如下步骤：基板清洗；连接设备；放置基板；设备抽真空；原料罐加热；构建反应环境；进行反应，打开激光对基板进行照射，使基板表面开始升温到达反应温度，随后与前驱体气体以及反应气体进行反应开始沉积反应；后处理，将基板取出，在基板表面覆有碳化铪涂层。本发明的一种碳化铪涂层的安全高效制备方法所得碳化铪涂层稳定性极强，具备优越的抗热冲击和抗烧蚀性能等优点，且沉积速率较高，仅需短时间沉积即可获得所需碳化铪涂层，该方法使用方便，耗时短，有效减少资源的损耗。

本发明授权一种碳化铪涂层的安全高效制备方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化铪涂层的安全高效制备方法，其特征在于，采用激光化学气相沉积法，包括如下步骤： 基板清洗，将反应用的基板放置到超声清洗仪中进行清洗，将基板清洗干净； 连接设备，将原料罐的出气口通过气管连接喷嘴，再将喷嘴与激光化学气相沉积装置的沉积腔体的进料口相连，所述原料罐的进气口用于通入承载气体，所述气管中部设有用于通入反应气体的反应进气口，所述原料罐中存放前驱体； 放置基板，将基板放置到激光化学气相沉积装置的沉积腔体中并使基板位于激光化学气相沉积装置的激光覆盖范围内； 设备抽真空，对整套设备进行抽真空处理，使整套设备内部处于真空环境； 原料罐加热，对原料罐、气管及喷嘴进行加热，使原料罐内的前驱体升华成前驱体气体； 构建反应环境，同时通入承载气体与反应气体，使承载气体带动前驱体气体与反应气体共同进入沉积腔体内，直至沉积腔体内的压强处于沉积压强中，随后稳定5分钟； 进行反应，打开激光对基板进行照射，使基板表面开始升温到达反应温度，随后与前驱体气体以及反应气体进行反应开始沉积反应，沉积10min； 后处理，沉积反应结束后，关闭激光，停止承载气体及反应气体的通入，对设备进行抽真空，随后等待基板冷却至室温，将基板取出，在基板表面覆有碳化铪涂层； 其中，所述基板为碳碳复合材料基板或石墨基板，前驱体为乙酰丙酮铪、乙醇铪和正丁醇铪其中至少一种混合而成，所述承载气体为氩气，所述反应气体为CH4以及稀释气体H2。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人化学与精细化工广东省实验室潮州分中心;武汉理工大学，其通讯地址为：521000 广东省潮州市潮州大道南段科技大楼二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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