航天科工惯性技术有限公司刘洋获国家专利权
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龙图腾网获悉航天科工惯性技术有限公司申请的专利一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117430337B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210820697.1，技术领域涉及：C03C15/00；该发明授权一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统是由刘洋;于湘涛;杨杏敏;袁枫;田丰;秦淑斌;彭振新;张姝婷设计研发完成，并于2022-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统，该蚀刻方法先通过摆片蚀刻预试验，统计中心摆的剩余重量与剩余蚀刻时间的关系曲线；将装配蚀刻掩膜的批量石英片按照预定蚀刻时间完成第一次蚀刻；测量批量石英片中心摆的剩余重量，按剩余重量区间将石英片分组，计算每个分组的平均剩余重量，计算每组石英片的剩余蚀刻时间；每组石英片按照剩余蚀刻时间完成第二次蚀刻。该方法通过测量剩余质量间接控制平桥厚度一致性，仅需要操作人员完成蚀刻掩膜装版及拆卸，极大降低了操作难度，提升了流程控制水平、连续生产效率。
本发明授权一种摆片的蚀刻方法及蚀刻控制系统在权利要求书中公布了：1.一种摆片的蚀刻方法，其特征在于，包括如下步骤 S1、通过摆片蚀刻预试验，统计中心摆的剩余重量与剩余蚀刻时间的关系曲线； S2、将装配蚀刻掩膜的批量石英片置于蚀刻溶液中，按照预定蚀刻时间，完成第一次蚀刻，取出石英片冲洗、干燥，去除蚀刻掩膜； S3、测量批量石英片中心摆的剩余重量，按剩余重量区间将石英片分组，计算每个分组的平均剩余重量，按照步骤S1的关系曲线，计算每组石英片的剩余蚀刻时间； S4、每组石英片按照剩余蚀刻时间完成第二次蚀刻，取出石英片冲洗、干燥。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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