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龙图腾网获悉深圳市溢诚电子科技有限公司申请的专利一种晶圆锌置换镀液及其工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117488291B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311439032.7，技术领域涉及：C23C18/52；该发明授权一种晶圆锌置换镀液及其工艺是由卢意鹏;许国军;杨荣华;刘高飞;王祥柱;许逸诚;付洋;金振球;李龙设计研发完成，并于2023-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆锌置换镀液及其工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆锌置换镀液及其工艺，包括以下组分质量浓度：锌盐5‑15gL、氢氧化钠50‑150gL、均匀剂10‑20gL、复合络合剂40‑80gL、稳定剂0.5‑1gL、润湿剂1‑2gL，余量为去离子水。该发明可以应用于晶圆镀镍前处理工艺，通过与铝基材实现置换从而置换一层锌，从而有利于晶圆上镍，该发明提供的锌置换镀液不仅镀层平整致密度高，且镀液稳定优良。

本发明授权一种晶圆锌置换镀液及其工艺在权利要求书中公布了：1.一种晶圆锌置换镀液，其特征在于，包括以下质量浓度的组分：锌盐5-15gL、氢氧化钠50-150gL、均匀剂10-20gL、复合络合剂40-80gL、稳定剂0.5-1gL、润湿剂1-2gL，余量为去离子水； 操作温度25-35℃ 所述锌盐为氧化锌,且氧化锌粉体的粒径的尺寸在50-150nm； 所述均匀剂为邻二硫吡啶-PEG-邻二硫吡啶； 所述复合络合剂为马来酸和亚氨基二琥珀酸四钠组成的组合物，其在使用时的质量浓度比为1:1；所述稳定剂为氨基吡嗪；所述润湿剂为8-氨基辛酸；所述复合络合剂与均匀剂在使用时的浓度比为4:1；所述稳定剂与润湿剂在使用时的浓度比为1:2； 由上述锌置换镀液得到的一种晶圆锌置换工艺，包括以下具体步骤： A、碱性微蚀，通过碱性微蚀去除氧化铝膜，并对铝基材进行微粗化处理、然后纯水水洗； B、除油，去除表面易吸附的油脂、碱性微蚀剂残留物等杂质，然后进入纯水水洗； C、镀锌，通过一次碱性锌置换30-60s、一次30%体积浓度的硝酸退锌10-15s、再一次碱性锌置换60-120s，随后进入镀镍槽进行镀镍，中间每一次置换和退锌过程都需要经过纯水水洗，该步骤操作温度均在常温进行； 其中，步骤A的具体条件为：碱性微蚀液组分由1-5gL氢氧化钠、2gL亚氨基二琥珀酸四钠、1-5gL对硝基苯甲酸、0.1-0.5gL邻二硫吡啶-PEG-邻二硫吡啶组成，使用温度为25-35℃，时间1-2min； 其中，步骤B的具体条件为：除油剂由0.01-0.05gL氢氧化钠、2gL亚氨基二琥珀酸四钠、0.2-0.5gL环氧乙烷和环氧丙烷嵌段共聚物、10-30ppmLOP-10、0.5-1.5mlL1,4-二氧六环、30-60ppmL十二烷基苯磺酸钠组成，使用温度为45-55℃，时间1-2min。

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