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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种循环式晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117619819B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311624734.2，技术领域涉及：B08B3/14；该发明授权一种循环式晶圆清洗设备是由肖邦华;甘志金;张德海设计研发完成，并于2023-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种循环式晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种循环式晶圆清洗设备，包括清洗槽，所述清洗槽的底部设有管道，且所述管道上安装有泵体和过滤器，还包括内部空心且上下端均为封闭的空心筒，所述过滤器设置有多个，多个所述过滤器呈圆周密封设置在所述空心筒的底部，所述过滤器的进液端与所述空心筒的内腔相通，所述空心筒的内腔设置有旋转板，且所述旋转板上开设有一个与所述过滤器进液端适配的进液孔，还包括自动更换单元。本晶圆清洗设备上设置有多个过滤器和自动更换单元，当过滤器堵塞时，其空心筒内水压变大，通过此变大的水压作用带动自动更换单元更换过滤路径，更换所需时间相比人工跟换所需时间大大缩短，有利于晶圆的快速清洗。

本发明授权一种循环式晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种循环式晶圆清洗设备，包括清洗槽1，所述清洗槽1的底部设有管道2，且所述管道2上安装有泵体3和过滤器4，所述过滤器4的排液口位于所述清洗槽1的上方，其特征在于：还包括内部空心且上下端均为封闭的空心筒5，且所述空心筒5的进液端与所述管道2的出液端连接，所述过滤器4设置有多个，多个所述过滤器4呈圆周密封设置在所述空心筒5的底部，多个所述过滤器4均与所述空心筒5可拆洗式安装，所述过滤器4的进液端与所述空心筒5的内腔相通，所述空心筒5的内腔设置有旋转板10，且所述旋转板10上开设有一个与所述过滤器4进液端适配的进液孔11，所述旋转板10的底部固定有弹性密封垫12，且所述弹性密封垫12的下端与空心筒5的内腔底部接触，多个所述过滤器4的上端与所述空心筒5内底部齐平，还包括自动更换单元，当过滤器4堵塞导致所述空心筒5内水压变大时，自动带动所述旋转板10进行等角度定量旋转，当所述进液孔11与下一个所述过滤器4的进液端重合时，所述旋转板10停止旋转，其余所述过滤器4不进行过滤操作，如此反复，可自动实现被堵塞的所述过滤器4的更换； 所述自动更换单元包括感压驱动单元8和旋转单元9，当空心筒5内水压增大时，所述感压驱动单元通过水压作用带动旋转单元9运行，利用旋转单元带动所述旋转板10进行旋转； 所述感压驱动单元8包括安装在所述旋转单元9上方的安装架82，所述安装架82上固定有空心柱81，所述空心柱81的内腔设置有密封块84，且所述密封块84的外壁上包裹有弹性密封环85，所述弹性密封环85的外壁与所述空心柱81的内壁滑动抵触，所述密封块84的上端固定有挤压杆83，所述挤压杆83的下端位于所述安装架82的下方，且位于所述旋转单元9的上方； 所述旋转单元9包括设置在所述旋转板10轴心处安装孔内的筒体91，所述筒体91的下端与所述空心筒5的内腔底部转动连接，所述筒体91内滑动设有下压柱92，且所述下压柱92通过弹簧93与所述空心筒5内腔底部固定连接，所述下压柱92上转动设置有驱动杆94，且所述驱动杆94的端部位于所述筒体91内壁上设有运行凹槽95内。

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