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龙图腾网获悉禹银材料科技(上海)有限公司申请的专利半导体超高纯产品超声波清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117900194B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410100188.0，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权半导体超高纯产品超声波清洗工艺是由牛彩会设计研发完成，并于2024-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体超高纯产品超声波清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了半导体超高纯产品超声波清洗工艺，涉及超声波清洗设备技术领域，该清洗工艺包括以下具体步骤：步骤一：将待清洗工件由上料小车推送至超声波清洗机的进料口端，并提前往超声波清洗机中的清洗槽内注入清洗剂。本发明通过设置移动机构、进料机构和出料机构，电机带动转动架每转动九十度后停止，间歇进行转动操作，当转动架不进行转动时，活动架将放置框推入对接座内，将对接座固定在放置框的内腔；当放置框转动进入清洗槽时，超声波清洗机对产品进行清洗操作，当放置框转动至靠近出料轨位置处，放置框落入出料轨中，便于自动对产品进行上料、清洗和下料操作，降低了人工操作量，达到自动对产品进行进料和出料的目的。

本发明授权半导体超高纯产品超声波清洗工艺在权利要求书中公布了：1.半导体超高纯产品超声波清洗工艺，其特征在于，该清洗工艺包括以下具体步骤： 步骤一：将待清洗工件由上料小车推送至超声波清洗机的进料口端，并提前往超声波清洗机中的清洗槽内注入清洗剂或超纯水清洗； 步骤二：工件由超声波清洗机进料口端进入，并由机械手带动工件进入纯水超声清洗槽内，清洗槽结构为单边溢流，溢流口溢出的液体流入总排水管，槽中液体经循环泵抽出过滤后再泵入下一个清洗槽内循环使用，清洗槽内设置不锈钢浮球式液位控制结构，低液、无液自动关闭循环泵并声光报警，提醒超纯水入口流量不足，不能满足产品清晰溢流； 步骤三：经超声波清洗机清洗后的工件由机械手输送至超声波清洗机的出料口端，由出料口端经传送带输送至下一个超声波清洗机中再加工清洗，超声波清洗机设置有多个，且呈一字排列，超纯水进水口是从最后一个清洗槽进入，并安装有在线电阻率检测仪器，在线实时检测电阻率是否大于十八兆欧； 步骤四：待工件清洗完成后将工件从超声波清洗装置中取出，并将工件放置在倾斜25～30°的置物架上空水，并通过高纯氮气吹扫，抽水分排风，清除工件表面的水渍，然后再继续高纯氮加热吹扫、抽排风，加热到一百二十摄氏度烘干，烘干完成后再由常温高纯氮吹扫冷却至常温； 步骤五：再将完成清洗并烘干后的工件进行在线自动单层包装收集； 所述超声波清洗机1的两端分别设置有进料轨2和出料轨3，所述超声波清洗机1的一侧依次设置有第一安装板4和第二安装板5，产品通过移动机构6进入超声波清洗机1的清洗槽内进行清洗操作； 所述移动机构6包括电机601，所述电机601安装于所述第二安装板5的外壁，所述电机601的输出端连接有连接轴602，所述连接轴602的一端贯穿第一安装板4固定连接有第一直齿轮603，所述第一安装板4的外壁一端设置有转动框604，所述转动框604朝向所述第一安装板4的一侧固定连接有第二直齿轮605，所述第二直齿轮605通过转轴与第一安装板4转动连接，所述第一直齿轮603与所述第二直齿轮605相接触； 所述超声波清洗机1的清洗槽上方设置有可转动的转动架606，所述转动架606的内壁固定连接有安装轴607，所述安装轴607的一端固定连接有第三直齿轮608，所述第三直齿轮608位于所述转动框604的内腔，所述转动框604的内壁圆周等距分布有四组齿块609，相邻两组所述齿块609之间设置有弧形槽610，所述转动架606的形状呈十字形，所述转动架606的四个端角固定连接有对接座611，产品通过进料机构7进入所述对接座611的内腔； 所述进料机构7包括活动槽701和放置框711，所述活动槽701开设于所述第一安装板4的外壁，所述活动槽701的内壁滑动连接有延伸至所述进料轨2上方的活动架702，所述连接轴602的外壁位于第一安装板4和第二安装板5之间固定连接有第一锥齿轮703，所述第一安装板4和所述第二安装板5之间设置有转动杆705，所述转动杆705的一端固定连接有第二锥齿轮704，所述第一锥齿轮703与所述第二锥齿轮704相接触，所述转动杆705的另一端贯穿活动架702； 所述活动架702远离所述转动杆705一端底部的内部滑动连接有延伸至所述活动架702下方的滑块706，所述滑块706的底端设置有第一斜面，所述滑块706的顶端与所述活动架702之间连接有第一弹簧707； 所述进料机构7还包括有顶板708，所述顶板708固定连接于所述进料轨2的一端顶部，所述进料轨2和所述顶板708之间形成空腔，所述进料轨2的内部滑动连接有延伸进入所述空腔的限位块709，所述空腔的内壁与所述放置框711的外壁相匹配，所述限位块709与所述进料轨2之间连接有第二弹簧710，产品放置在所述放置框711的内腔，所述放置框711的两侧转动连接有挡块712，所述挡块712用于对产品进行固定，所述放置框711滑动连接于所述进料轨2的内腔，所述放置框711可滑动进入所述对接座611的内腔，所述放置框711通过出料机构8移动出所述对接座611； 所述出料机构8包括卡槽801，所述卡槽801开设于所述放置框711的顶端，所述第一安装板4的外壁靠近所述出料轨3的一侧固定连接有挤压板802； 所述对接座611的内部滑动连接有延伸进入所述对接座611内腔的C形块803，所述C形块803的顶端与所述对接座611之间连接有第三弹簧804，所述对接座611的内部位于所述C形块803的一侧滑动连接有延伸出所述对接座611的挤压块805； 所述第一直齿轮603与所述第二直齿轮605相啮合，所述第三直齿轮608与所述齿块609相啮合； 所述第一锥齿轮703与所述第二锥齿轮704相啮合，所述转动杆705的外壁设置有往复螺纹，所述活动架702的外壁开设有连接孔，所述连接孔的内壁设置有与所述往复螺纹相匹配的滚珠。

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