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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统与工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118007113B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410173148.9，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统与工艺方法是由林立新;蒋新华;黄心沿;王辉;颜湘;邱魁;姜利设计研发完成，并于2024-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统与工艺方法在说明书摘要公布了：一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统及工艺方法，通过参数设置区、半导体镀膜电源和负载的协同作用，实现对半导体镀膜过程中电流和电压的精准控制。其系统包括参数设置区、半导体镀膜电源和负载。参数设置区用于配置和调整半导体镀膜电源的关键参数。半导体镀膜电源包括控制模块和检测模块。负载作为电源输出的接收端，通过柔性匹配控制技术，确保半导体镀膜电源与负载之间的精准匹配。本发明能够有效提升半导体镀膜电源在工作过程中的安全性和稳定性，通过峰值电流控制、报警停机机制等手段，实现了对电流、电压的稳定控制，使得半导体镀膜电源能够适应负载阻抗的变化，降低了其因电流峰值超限而导致的损失，实现了降本增效的目标。

本发明授权一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统与工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统，包括参数设置区、半导体镀膜电源和负载，其特征在于： 所述参数设置区用于配置和调整半导体镀膜电源工作参数的区域，包括电源的输出电流、电压、工作频率和电流峰值关键参数的设置，通过参数设置区配置工作参数； 所述半导体镀膜电源使电源在电流峰值范围内正常工作、检测到输出电流瞬时值超出预设电流峰值时则做电流抑制、进行峰值电流控制、触发报警停机以及完成镀膜，包括控制模块和检测模块，所述参数设置区连接控制模块，控制模块根据参数设置区的预设进行正常工作，所述控制模块连接检测模块，检测模块将收集到的运行参数传送给控制模块，控制模块根据设定程序进行调整修正，维护半导体镀膜电源的安全运行； 所述控制模块：负责整体控制和调节功率输出，根据参数设置区的设定和检测模块的反馈，灵活调整输出以实现对负载的精准匹配，以满足负载的需求； 所述检测模块：监测半导体镀膜电源工作状态的模块，实时检测输出电流和电压参数的变化情况；当检测到输出电流瞬时值或电压参数超出预设范围时，将检测到的输出电流、电压信息反馈给控制模块，触发异常处理机制，包括电流抑制和停机保护措施，实时进行动态调整，确保系统在异常情况下的可控操作，维护系统稳定性； 所述负载是半导体镀膜电源输出能量的接收端，其电能需求随时间变化。

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