华南理工大学肖舒获国家专利权
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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种碳基复合涂层的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118147604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410322744.9,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权一种碳基复合涂层的制备方法是由肖舒;范舒瑜;陈艺浓;吴静设计研发完成,并于2024-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳基复合涂层的制备方法在说明书摘要公布了:一种碳基复合涂层的制备方法,包括以下步骤:步骤S10,在工件基材的表面上依序形成金刚石涂层和催化层;步骤S11,在所述催化层的表面形成石墨烯涂层;步骤S12,去除残留的所述催化层,以在工件基材的表面形成含有金刚石涂层和石墨烯涂层相结合的碳基复合涂层。本发明中,由于采用磁控溅射技术有利于在金刚石涂层的表面均匀地沉积催化层,该催化层为生长更均匀且更完整的石墨烯涂层提供了理想的界面;而混合酸性溶液通过改变各组分比例,以及精细调节混合酸性溶液的腐蚀力度和速度,可以对催化层进行选择性刻蚀而不损伤金刚石和石墨烯涂层,进一步确保了金刚石涂层和石墨烯涂层之间的直接接触,增加了金刚石表面活性位点,有助于与石墨烯形成更多的共价键连接,从而增强碳基复合涂层界面的结合强度,和提高其在高温摩擦条件下的稳定性。
本发明授权一种碳基复合涂层的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种碳基复合涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S10,采用沉积方法在工件基材的表面上形成金刚石涂层,并利用磁控溅射技术在所述金刚石涂层的表面上形成催化层,其中,所述催化层为镍催化层或铜催化层,且厚度为50~200nm,磁控溅射技术的参数为:氩气流量为25~50sccm,基体偏压为-70~-30V,沉积功率为100~1000W,沉积气压为0.2~0.5Pa,沉积时间为3~15min; 步骤S11,对含有所述催化层的工件基材进行高温退火,以诱导碳原子在所述催化层的表面上原位生长,且原位生长的碳原子均匀排列形成石墨烯涂层,其中,高温退火的升温速率为6~30℃min,退火温度为800~1100℃,保温时间为5~20min; 步骤S12,将含有所述石墨烯涂层的工件基材浸泡在混合酸性溶液中,控制腐蚀力度和速度进行超声刻蚀,以去除残留的所述催化层,即在工件基材的表面形成含有金刚石涂层和石墨烯涂层相结合的碳基复合涂层,其中,所述混合酸性溶液包括水、浓盐酸和硝酸,其中,水的体积占比为65%~70%,盐酸的体积占比为5%~7%,硝酸的体积占比为23%~27%,刻蚀时间为30~180s,刻蚀温度为25~35℃。
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