安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司张重宠获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备及工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118218353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410536089.7,技术领域涉及:B08B9/28;该发明授权一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备及工艺是由张重宠;韩五静;刘牛;冉玉林设计研发完成,并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备及工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备及工艺,包括用于承载片盒的承载平台,所述承载平台上端安装有清洗装置,所述承载平台表面设置有若干个承载开口,多个所述片盒位于对应的承载开口内阵列布置,同一纵列多个所述片盒的外边缘极限端点位于同一虚拟的接触线上;还包括导电装置,所述导电装置包括活动设置的导电丝,所述导电丝与接触线平行,所述导电丝具有靠近片盒的第一位置和远离片盒的第二位置。该发明能够一次对多个片盒进行静电释放,提高了静电释放的效率,并且导电丝接触面积小,控制方法简单,提高了静电释放的效率以及降低了静电释放难度和成本。
本发明授权一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备及工艺在权利要求书中公布了:1.一种减少片盒金属颗粒残留的清洗设备,包括用于承载片盒300的承载平台100,所述承载平台100上端安装有清洗装置,其特征在于: 所述承载平台100表面设置有若干个承载开口,多个所述片盒300位于对应的承载开口内阵列布置,同一纵列多个所述片盒300的外边缘极限端点位于同一虚拟的接触线上;还包括导电装置500,所述导电装置500包括活动设置的导电丝,所述导电丝与接触线平行,所述导电丝具有靠近片盒300的第一位置和远离片盒300的第二位置,片盒300清洗结束后,控制导电丝朝着接触线移动完成对片盒300静电的释放; 同一纵列所述的片盒300左右两侧均设置有导电丝,两个所述导电丝之间安装有伸缩装置600; 两个所述导电丝表面均固定有柔性的定位垫530,相邻的两个定位垫530之间具有预定间距; 所述承载平台100表面还包括电动导轨700,所述伸缩装置600安装于电动导轨700的滑动末端。
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