陕西莱宝晶维材料科技有限公司鲁涛获国家专利权
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龙图腾网获悉陕西莱宝晶维材料科技有限公司申请的专利一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118222977B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410352699.1,技术领域涉及:C23C14/16;该发明授权一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂及其制备方法是由鲁涛设计研发完成,并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及薄膜吸气剂技术领域,尤其涉及IPCC23C14,更具体地涉及,一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂及其制备方法。本发明提供了一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂,其组成成分,包括主体元素A、必选元素和可选元素;所述主体元素含量为50wt%~95wt%,必选元素含量为0.3~30wt%,可选元含量为0~20wt%;所述必选元素包括Re、Ir中的一种或两种。本发明中的薄膜吸气剂,具有高的甲烷气体的吸收能力,与基体结合强度高,提高了薄膜吸气剂使用寿命以及应用范围。
本发明授权一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种吸收烷类气体的薄膜吸气剂,其特征在于,其组成成分,包括主体元素A、必选元素和可选元素;所述主体元素A含量为60wt%~94wt%;必选元素含量为0.3~28wt%;可选元素含量为0~19wt%;所述主体元素A包括Ti、Zr、Ta、Nb中一种或多种;所述必选元素包括铼、铱中的一种或两种;所述可选元素包括V、Co、Fe、Mn、Cr、Sm、Nd、Y中的一种或多种; 所述的吸收烷类气体的薄膜吸气剂的制备方法,包括以下步骤:将多元合金靶材,通过溅射工艺溅射到基体样品上,形成吸收烷类气体的薄膜吸气剂; 所述溅射工艺为:在惰性气体氪气的氛围下,设置溅射功率为80~3200W,溅射时间10-80min,溅射气体流量为40~180mLmin; 所述多元合金靶材的制备方法为:用电弧熔炼技术和热压高温烧结技术相结合; 所述吸收烷类气体的薄膜吸气剂中含有可选元素Nd、Sm或Y时,所述多元合金靶材的具体制备方法,包括以下步骤: P1:将主体元素A和可选元素原料:Nd、Sm或Y元素一种或多种按比例混合,装入真空熔炼炉,将炼炉炉内真空度抽3.5×10-4Pa,随后充入0.01~0.1MPa的氩气,在高纯氩气的保护下熔炼合金,形成含主体元素A和可选元素:Nd、Sm或Y元素一种或多种的母合金纽扣锭;其母合金分别为:A-Nd、A-Sm、A-Y或者A-Nd-Sm、A-Nd-Y、A-Sm-Y、A-Nd-Sm-Y; P2:在氮气气流保护气氛下,对母合金纽扣锭破碎,设置气体流量为15-50mLmin;破碎成为0.5-12mm的母合金块体; P3:将0.5-12mm的母合金块体,放入球磨机中进行湿法球磨,设置球磨时间为1~22h,球磨成母合金细粉,粉末粒度为2~25μm; P4:将粉末粒度为2~25μm的母合金细粉,与5-30nm纳米级粉末的必选元素铼、铱的一种或两种;和8-250nm纳米级粉末的可选元素V、Co、Fe、Mn、Cr中的0种、一种或多种,按比例进行混合合批;将合批粉末压制成直径为80mm,厚度为18mm的圆形压坯; P5:将圆形压坯用热压高温烧结技术进行致密化处理,制备得到相对密度≥98.5%的致密板坯; P6:将致密板坯进行机加工,形成2英寸用于制备薄膜吸气剂的靶材; 所述吸收烷类气体的薄膜吸气剂中不含有可选元素Nd、Sm或Y、只含有可选元素V、Co、Fe、Mn、Cr的合金或不含可选元素时,所述多元合金靶材具体制备方法,包括以下步骤: Q1:将主体元素A粉末:Ti、Zr、Ta、Nb中一种或多种,粉末粒度为2~25μm,与纳米级粉末的必选元素Re、Ir的一种或两种和纳米级粉末的可选元素V、Co、Fe、Mn、Cr中的0种、一种或多种,按比例进行混合合批;将合批粉末压制成直径为250mm,厚度为18mm的圆形压坯; Q2:将圆形压坯用热压高温烧结技术进行致密化处理,制备得到相对密度≥98.5%的致密板坯; Q3:将致密板坯进行机加工,形成2或8英寸用于制备薄膜吸气剂的靶材。
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