厦门大学马盛林获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118348099B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410449187.7，技术领域涉及：G01N27/48；该发明授权一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统及方法是由马盛林;王燕;王其强;叶剑峰;陈路明;谢亿瀚;魏智琳设计研发完成，并于2024-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于电镀技术领域，具体公开了一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统及方法，其中测量系统为三电极测量系统，包括圆片电极、参比电极以及电镀装置中的阳极，所述圆片电极上设置多个微电极和1个面电极，所述微电极嵌入面电极中，所述微电极和面电极之间存在空气间隙，二者电气隔离并可分别独立供电。本发明可实现独立对圆片级电镀过程的传质能力进行原位测量与表征；本发明可以对圆片平面电镀工艺、铜大马士革互连电镀工艺、TSVTGV孔电镀铜工艺等电镀过程传质能力进行原位测量与表征；本发明支持电镀装备传质系统、电镀添加剂与配方等设计开发。
本发明授权一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种原位评估圆片级电镀过程传质能力的测量系统，其特征在于，所述测量系统为三电极测量系统，包括圆片电极、参比电极以及电镀装置中的阳极，所述圆片电极上设置多个微电极和1个面电极，所述微电极嵌入面电极中，所述微电极和面电极之间存在空气间隙，二者电气隔离并分别独立供电；所述微电极在面电极中的排布方式包括十字、环形排布；所述圆片电极的衬底内存在导电路径与微电极电气连接，所述面电极参照相应电镀阴极表面的结构、尺寸特征设置；所述微电极和面电极的材料为导电金属，所述导电金属包括Ti、Cu、Au和Pd，所述微电极和面电极通过溅射、蒸发、刻蚀、键合中的至少一种半导体工艺制作在衬底上，所述衬底为硅、玻璃、陶瓷、有机基板中的一种。
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