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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种快捷式晶圆切片清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118553644B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410687145.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种快捷式晶圆切片清洗设备是由张德海;甘志金;何园设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种快捷式晶圆切片清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种快捷式晶圆切片清洗设备，涉及晶圆清洗技术领域，包括清洗室，清洗室底部设有第一电机，第一电机的输出端连接有旋转轴，旋转轴设有旋转盘，旋转盘设有圆周阵列的四个支撑臂，每个支撑臂上设有夹紧座，夹紧座内壁上通过内凹的槽卡放有安装环，晶圆卡放在安装环内，清洗室对应夹紧座的上下两侧分别设有清洗机构及烘干机构，清洗室外延伸出外置板，外置板对应夹紧座处设有收集筒，夹紧座设有顶块，外置板设有阻挡杆，清洗室设有投放筒，清洗室对应投放筒处设有支撑座。本发明结构简单，通过旋转盘带动晶圆清洗、烘干，工作效率高，可自动将晶圆填充、释放收集，在收集的过程中可以避免与晶圆表面接触，避免二次污染，适合推广。

本发明授权一种快捷式晶圆切片清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种快捷式晶圆切片清洗设备，包括清洗室1，其特征在于，所述清洗室1底部固定设有第一电机4，所述第一电机4的输出端连接有向上延伸进清洗室1的旋转轴7，所述清洗室1固定设有套设在旋转轴7下半部分的套筒6，所述旋转轴7位于套筒6上方固定设有旋转盘5，所述旋转盘5的侧边固定设有圆周阵列的四个支撑臂8，每个所述支撑臂8上固定设有夹紧座9； 所述夹紧座9中部为截断部分，截断处固定设有相互对称且朝向外侧的第一延伸板29，两个所述第一延伸板29之间设有贯穿的滑动杆30，所述滑动杆30为带有棱边的弧形杆，其弧度与夹紧座9的直径相匹配，所述滑动杆30上套设有第一弹簧31，所述夹紧座9内壁上通过内凹的槽卡放有安装环10，晶圆44卡放在安装环10内； 所述清洗室1对应夹紧座9的上下两侧分别设有清洗机构及烘干机构，所述清洗室1外侧固定设有向外延伸出的外置板11，所述外置板11对应夹紧座9处固定设有收集筒12，所述夹紧座9最外侧端处固定设有顶块15，所述外置板11位于收集筒12一侧固定设有与顶块15位置相对应的阻挡杆14； 所述清洗室1位于收集筒12与清洗机构之间处固定设有投放筒13，所述投放筒13的截面直径与安装环10相匹配，所述投放筒13的位置与夹紧座9相对，所述清洗室1底部对应投放筒13处固定设有支撑座17，所述支撑座17靠近清洗机构一侧设有伸缩块42，所述伸缩块42位于支撑座17内设有弹簧机构； 所述收集筒12及投放筒13对应抽拉环45一侧设有开口16，所述顶块15朝向阻挡杆14一侧设有第一滑面32，所述顶块15的形状满足在其被阻挡杆14挤压时，夹紧座9打开至安装环10可掉落的状态。

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