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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118588594B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410687146.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置是由张德海;朱海锋;徐锐设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置，具体涉及晶圆加工技术领域。上述一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置包括基座，基座上设置有支架，支架内下方设置有升降盘，支架上设置有用于驱动升降盘竖向升降的伸缩装置，升降盘和基座之间设置有一对喷射组件，喷射组件包括中空座、固定连接在中空座上的若干个导流支板、开设在每个导流支板上的导流槽、固定连接在导流槽中的扰流板和固定连接在扰流板背向中空座一端的扰流块，布设在导流支板上的导流槽与中空座相连通，扰流板面向晶圆的一面由连续衔接的三角形设置，扰流块呈下倾斜设置。本发明解决了如何实现晶圆清洗干燥时达到无死角、高效和理想效果。

本发明授权一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆切片无死角清洗干燥一体装置，包括基座1，所述基座1上设置有支架2，所述支架2内下方设置有升降盘3，所述支架2上设置有用于驱动所述升降盘3竖向升降的伸缩装置4，所述升降盘3和所述基座1之间设置有一对喷射组件5，其特征在于：所述喷射组件5包括中空座51、固定连接在所述中空座51上的若干个导流支板52、开设在每个导流支板52上的导流槽53、固定连接在所述导流槽53中的扰流板54和固定连接在所述扰流板54背向所述中空座51一端的扰流块55，布设在所述导流支板52上的导流槽53与所述中空座51相连通，所述扰流板54面向晶圆的一面由连续衔接的三角形设置，所述扰流块55呈下倾斜设置； 气液导通件6，所述气液导通件6的数量为两组，且分别与一对中空座51固定连通，所述气液导通件6用于导入晶圆清洗用水体和晶圆干燥用气体； 位于顶部的中空座51上的气液导通件6设置在所述升降盘3上，位于底部的中空座51上的气液导通件6设置在所述基座1上； 立柱7，所述立柱7的数量为多组，且分别固定连接在所述基座1上，所述立柱7上设置有承载晶圆的晶圆载环71，其中一个晶圆载环71上设置有齿轮一8； 晶圆调角驱动结构9，所述晶圆调角驱动结构9设置在所述基座1和所述升降盘3上，所述晶圆调角驱动结构9包括旋转传动模块和旋转驱动模块，所述晶圆调角驱动结构9上设置有让位结构10，所述让位结构10用于所述旋转传动模块和旋转驱动模块传动的连接和传动的解除； 当位于顶部的喷射组件5下降并贴合在晶圆上端面时，所述旋转传动模块通过让位结构10与旋转驱动模块传动解除，布设在所述晶圆载环71上的晶圆不转动； 当位于顶部的喷射组件5上升而远离晶圆上端面时，所述旋转传动模块通过让位结构10与旋转驱动模块传动连接，布设在所述晶圆载环71上的晶圆转动。

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