中国电子科技集团公司信息科学研究院;电子科技大学曹静获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司信息科学研究院;电子科技大学申请的专利MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118646419B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410511621.X,技术领域涉及:H03M1/66;该发明授权MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法是由曹静;吴克军;刘松;张萌;胡小燕;王伟平设计研发完成,并于2024-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法,MEMS驱动电路包括DAC模块、多路复用单元、采样保持放大器阵列、高压驱动放大器阵列、基准电压源和SPI模块;DAC模块用于将给定的数字信号转化为模拟电压信号;多路复用单元与所述DAC模块连接;采样保持放大器阵列的输入端与DAC模块的输出端连接;高压驱动放大器阵列的输入端与所述采样保持放大器阵列的输出端连接;高压驱动放大器阵列的输出端与MEMS阵列一一连接;SPI模块与所述DAC模块连接,用于将片外控制信号传输到片内进行电压值与时序控制。本发明的一个技术效果在于,大大减少驱动电路与MEMS阵列的走线长度,能够实现对整个MEMS阵列的精确控制。
本发明授权MEMS驱动电路及驱动方法、集成方法在权利要求书中公布了:1.一种MEMS驱动电路,其特征在于,采用CMOS工艺对阵列MEMS驱动电路和MEMS阵列进行芯片级集成以形成MEMS-CMOS集成芯片,包括: DAC模块和多路复用单元,所述DAC模块用于将给定的数字信号转化为模拟电压信号;所述多路复用单元与所述DAC模块连接,用于将DAC模块输出的模拟电压信号拆分成多路子信号; 采样保持放大器阵列,所述采样保持放大器阵列的输入端与所述DAC模块的输出端连接,用于对所述DAC模块输出的模拟电压信号进行保持; 高压驱动放大器阵列,所述高压驱动放大器阵列的输入端与所述采样保持放大器阵列的输出端连接,用于将所述DAC模块输出的模拟电压信号放大至预设的驱动电压范围;所述高压驱动放大器阵列的输出端与MEMS阵列一一连接; 基准电压源,所述基准电压源与所述DAC模块连接,用于为DAC模块提供基准电压; SPI模块,所述SPI模块与所述DAC模块连接,用于将片外控制信号传输到片内进行电压值与时序控制。
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