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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种大尺寸硅晶片单片清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118676032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410870468.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种大尺寸硅晶片单片清洗机是由朱海锋;肖邦华;张德海设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大尺寸硅晶片单片清洗机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大尺寸硅晶片单片清洗机，具体涉及硅晶片加工技术领域，包括固定板一、固定板二和用于向硅晶片上喷淋清洗液的一对喷淋系统，固定板二固定连接在固定板一上，固定板一的侧面滑动连接有三个滑座一，且每个滑座一上均转动连接有用于硅晶片滚动支撑的支撑辊轮，三个支撑辊轮构成三角形结构，其中一个滑座一的底部设置有弹簧一，且弹簧一设置在固定板一上。本发明解决了硅晶片在清洗时上料的放入速度过快或上料对位的不足极易造成晶圆边缘的碰撞，以及硅晶片在转动清洗的过程中，其传动限位性存在不足，导致在转动清洗时存在清洗周期的不彻底，同时还影响的转动清洗的稳定性的技术问题。

本发明授权一种大尺寸硅晶片单片清洗机在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸硅晶片单片清洗机，包括固定板一1、固定板二2和用于向硅晶片上喷淋清洗液的一对喷淋系统3，所述固定板二2固定连接在所述固定板一1上，其特征在于：所述固定板一1的侧面滑动连接有三个滑座一4，且每个滑座一4上均转动连接有用于硅晶片滚动支撑的支撑辊轮5，三个支撑辊轮5构成三角形结构，其中一个滑座一4的底部设置有弹簧一6，且弹簧一6设置在所述固定板一1上； 其中一个支撑辊轮5上固定连接有轴杆7，另外两个支撑辊轮5上均转动连接有连杆71，一对连杆71均转动连接在所述轴杆7上； 皮带传动结构，所述皮带传动结构设置在所述固定板二2上，所述皮带传动结构用于驱动所述轴杆7进行转动； 传动张紧组件，所述传动张紧组件设置在所述固定板二2和所述皮带传动结构上； 洗刷组件，所述洗刷组件包括一对清洗辊10，一对清洗辊10之间设置有用于硅晶片插放的间隙，一对清洗辊10的两端均设置有滑动张紧组件； 清洁驱动结构，所述清洁驱动结构设置在所述滑动张紧组件上，所述清洁驱动结构用于驱动一对清洗辊10相对转动； 皮带传动结构包括带轮一8、带轮二81、带轮三82、传动皮带83和旋转装置一84，所述带轮二81转动连接在所述固定板二2上，所述传动皮带83传动连接在所述带轮一8、带轮二81和带轮三82，所述旋转装置一84固定连接在所述固定板二2上，且旋转装置一84的输出端贯穿所述固定板二2并与所述带轮二81相连，所述带轮三82固定连接在所述轴杆7的一端； 传动张紧组件包括滑座二9和弹簧二91，所述滑座二9滑动连接在所述固定板二2上，所述弹簧二91固定连接在所述滑座二9的底端； 滑动张紧组件包括支撑板11、一对滑座三111和一对弹簧三112，所述支撑板11固定连接在所述固定板一1上，一对滑座三111均滑动连接在所述支撑板11上，所述弹簧三112固定连接在所述滑座三111的侧面。

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