华东光电集成器件研究所郑雄斌获国家专利权
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龙图腾网获悉华东光电集成器件研究所申请的专利一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法、系统及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118730068B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410973059.2，技术领域涉及：G01C19/5776；该发明授权一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法、系统及存储介质是由郑雄斌;周健;顾逸尘;李金雄;邢逸飞;吴汪瑞设计研发完成，并于2024-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法、系统及存储介质在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法、系统及存储介质，方法包括如下步骤：将MEMS谐振器的等效动力学模型转换成状态空间方程；改变状态空间方程中输入矩阵的表达形式，将非标准的状态空间方程转换为标准的线性反馈方程；根据设定的状态权重矩阵Q和控制权重矩阵R，最小化LQR的性能指标函数，获得最优控制规则下的输入增益矩阵；根据输入增益矩阵及线性反馈方程判断驱动闭环系统是否稳定，当驱动闭环系统稳定时，获得确定增益矩阵的系数矩阵N；根据确定增益矩阵的系数矩阵N构建LQR调节器，所述LQR调节器根据接收的参考信号和驱动闭环系统的反馈信号产生驱动闭环系统的控制信号。本申请实现更快的幅值稳定速度和更小的超调。
本发明授权一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法、系统及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种MEMS谐振器的稳定幅度控制方法，其特征在于，包括： 将MEMS谐振器的等效动力学模型转换成状态空间方程； 改变状态空间方程中输入矩阵的表达形式，将非标准的状态空间方程转换为标准的线性反馈方程； 根据设定的状态权重矩阵Q和控制权重矩阵R，最小化LQR的性能指标函数，获得最优控制规则下的输入增益矩阵[]； 根据输入增益矩阵[]及线性反馈方程判断驱动闭环系统是否稳定，当驱动闭环系统稳定时，获得确定输入增益矩阵[]的系数矩阵N； 根据确定输入增益矩阵[]的系数矩阵N构建LQR调节器，所述LQR调节器根据接收的参考信号和驱动闭环系统的反馈信号产生驱动闭环系统的控制信号； 所述线性反馈方程的表达式为： =+=； 其中，表示MEMS谐振子的驱动谐振频率，表示MEMS谐振子驱动轴的品质因数，表示状态变量误差，表示状态变量。
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