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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆双面连续视觉检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119000715B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411315877.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种晶圆双面连续视觉检测设备是由肖飞;宋雅林;孙臣;陈俊;余东升设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆双面连续视觉检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆双面连续视觉检测设备，包括第一链板式输送机、第二链板式输送机和两组视觉成像检测单元；所述第一链板式输送机位于所述第二链板式输送机的上方，所述第一链板式输送机和所述第二链板式输送机的链板上均等间隔设置有多个晶圆放置板，且每个所述晶圆放置板上均设置有晶圆放置凹槽，所述晶圆放置凹槽内均设置有真空吸盘器；两个所述视觉成像检测单元分别安装在所述第一链板式输送机和所述第二链板式输送机上；两个所述视觉成像检测单元分别用于检测连续移动中的单个晶圆放置板上晶圆正反面缺陷。本发明可连续不间断对晶圆地正反面进行视觉缺陷检测，可大大提高检测效率。

本发明授权一种晶圆双面连续视觉检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆双面连续视觉检测设备，其特征在于：包括第一链板式输送机1、第二链板式输送机2和两组视觉成像检测单元5； 所述第一链板式输送机1位于所述第二链板式输送机2的上方，所述第一链板式输送机1和所述第二链板式输送机2的链板上均等间隔设置有多个晶圆放置板3，且每个所述晶圆放置板3上均设置有晶圆放置凹槽，所述晶圆放置凹槽内均设置有真空吸盘器4； 两个所述视觉成像检测单元5分别安装在所述第一链板式输送机1和所述第二链板式输送机2上； 两个所述视觉成像检测单元5分别用于检测连续移动中的单个晶圆放置板3上晶圆正反面缺陷； 所述视觉成像检测单元5包括安装在U形板51上的视觉成像检测头52、安装有限位杆55的安装板54、滑动安装在所述晶圆放置板3侧端的接触杆57以及带动所述接触杆57相对所述晶圆放置板3做伸缩运动的弧形板511； 所述U形板51的侧壁上固定有滑板53，且所述滑板53滑动套设在所述限位杆55上； 所述接触杆57通过位于所述晶圆放置板3内腔的连接弹簧510与所述晶圆放置板3连接，所述接触杆57的下端相对转动设置有两个转杆59，且两个所述转杆59之间形成限位间隙，且此所述限位间隙与所述弧形板511的厚度一致，所述接触杆57与所述U形板51侧端接触的接触面上安装有第一弹性磁垫58； 所述U形板51的两下端底部均设有滚珠； 所述安装板54上远离所述滑板53的一端上安装有可与所述滑板53端面形成挤压接触的复位弹簧56； 所述滑板53的侧端以及所述安装板54上分别相对设置有第三弹性磁垫和第二弹性磁垫512。

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