深圳镭赫技术有限公司何小凤获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳镭赫技术有限公司申请的专利待测物的检测方法和检测设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119008456B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410952820.4,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权待测物的检测方法和检测设备是由何小凤;李青格乐;王岩松设计研发完成,并于2024-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本待测物的检测方法和检测设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种待测物的检测方法和检测设备,待测物包括顶面和与顶面连接的侧面,待测物的检测方法包括:采用第一边缘检测模块获取待测物侧壁的完整图像得到侧壁图像,所述侧壁图像包括待测物侧壁若干点在沿垂直于所述侧壁法向的平面内的位置信息;采用所述第一边缘检测模块根据所述侧壁图像中待测物侧壁的所述位置信息获取待测物沿垂直于所述顶面方向的待测高度。简化设备并降低检测成本。
本发明授权待测物的检测方法和检测设备在权利要求书中公布了:1.一种待测物的检测方法,其特征在于,所述待测物包括顶面和与顶面连接的侧面,包括: 采用第一边缘检测模块获取待测物侧壁的完整图像得到侧壁图像,所述侧壁图像包括待测物侧壁若干点在沿垂直于所述侧壁法向的平面内的位置信息; 在所述侧壁图像中获取待测物的边缘轮廓像;根据所述边缘轮廓像得到待测物沿垂直于所述顶面方向的待测高度。
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