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龙图腾网获悉安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请的专利一种晶圆再生项目去除钼金属膜层的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028878B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411183296.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆再生项目去除钼金属膜层的方法及装置是由邵毅;韩五静;王刚;左鹏;赵航设计研发完成，并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆再生项目去除钼金属膜层的方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆再生项目去除钼金属膜层的方法及装置，包括如下步骤S1:将晶圆放置在内部装有酸性腐蚀液的第一超声波处理槽中，酸性腐蚀液中硫酸的质量百分比浓度为98%，双氧水的质量百分比浓度为30%；S2：再将处理完毕后的晶圆放置在第二超声波处理槽中，内部装有混酸处理液。使用两种不同混合酸液和超声设备组合作业，从而去除钼金属膜层，更好的控制膜去除后的硅片表面面状态，每种混合酸液发生反应生成的物质可溶于水，不会污染药液和槽体，不对后续作业的硅片产生污染，且不会过度损伤硅基底，整个流程对硅基底的腐蚀量小非常小，提高再生清洗成功率，稳定硅片循环再生的次数。

本发明授权一种晶圆再生项目去除钼金属膜层的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆再生项目去除钼金属膜层的装置，内部带有电加热管的处理槽1，所述处理槽1的上端敞开设置，其特征在于：还包括用于密封所述处理槽1上端开口的密封板3、用于热量交换的板式换热器7以及设置在所述处理槽1内腔的多个自动倒料单元； 所述密封板3的下端设置有用于承载花篮的放置架4以及用于对所述密封板3高度进行调节的电动伸缩杆2； 所述自动倒料单元包括多个设置在所述处理槽1内腔且两两相对设置的安装板17，相对的两个安装板17之间通过转轴13转动设置有倾倒桶12，所述转轴13与所述倾倒桶12偏心设置，所述转轴13上固定设置有竖直设置的挡块14，所述安装板17上分别设置有第一挡条15和第二挡条16，初始状态，所述第一挡条15与所述挡块14接触形成阻挡，每个所述倾倒桶12的上方均设置有送液管25； 所述板式换热器7上设置有第一进料管9、第一排料管8、安装有送料泵11的第二进料管以及第二排料管10，所述第二排料管10分别与多个所述送液管25连接； 所述处理槽1上设置有进液管101以及两个出液管，两个所述出液管上分别安装有第一排料泵5和第二排料泵6，所述第一排料泵5的出液端与所述第一进料管9连接，所述处理槽1的内腔底部设置有超声波振板102。

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