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珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司周悦获国家专利权

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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利载具更换的控制方法、控制装置、计算机设备和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119092435B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411193042.1,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权载具更换的控制方法、控制装置、计算机设备和存储介质是由周悦设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。

载具更换的控制方法、控制装置、计算机设备和存储介质在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体技术领域,特别地涉及一种载具更换的控制方法、控制装置、计算机设备和存储介质,控制方法用于连续处理的第一分选站点、第二工艺站点和第三分选站点,包括:根据所述第一分选站点的站点属性给目标批次的晶圆进行第一标识之后,所述第一分选站点对目标批次的晶圆进行交换载具处理;响应于第二工艺站点对目标批次的晶圆结束了工艺处理,获取第三分选站点预设的站点属性;根据第三分选站点的站点属性确定第三分选站点在工艺处理时对待选用的目标载具的清洁度需求;根据清洁度需求和第一标识的结果给第三分选站点配置目标载具。本控制方法降低了生产过程中目标载具选用的出错率,提高了整体生产效率和生产流程的灵活性。

本发明授权载具更换的控制方法、控制装置、计算机设备和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种载具更换的控制方法,所述控制方法用于连续处理的第一分选站点、第二工艺站点和第三分选站点,其特征在于,包括: 根据所述第一分选站点的站点属性给目标批次的晶圆进行第一标识之后,所述第一分选站点对目标批次的晶圆进行交换载具处理; 响应于所述第二工艺站点对所述目标批次的晶圆结束了工艺处理,获取所述第三分选站点预设的站点属性; 根据所述第三分选站点的站点属性确定所述第三分选站点在进行交换载具处理时对待选用的目标载具的清洁度需求; 根据所述清洁度需求和所述第一标识的结果给所述第三分选站点配置所述目标载具。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司,其通讯地址为:519070 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层428室(集中办公区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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